• 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

10 2.9折 35 九品

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北京海淀
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作者Rebecca Cheung著

出版社科学出版社

ISBN9787030268624

出版时间2010-03

装帧平装

开本16开

页数121页

定价35元

上书时间2016-02-28

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品相描述:九品
商品描述
本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍,用于碳化硅MEMS的沉积技术,近年来碳化硅的研究相关进展,碳化硅的干法腐蚀,碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。

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