MEMS材料与工艺手册

图书标准信息

• 作者 林斌彦 著
• 出版社 东南大学出版社
• 出版时间 2014-03
• 版次 1
• ISBN 9787564140533
• 定价 198.00元
• 装帧 平装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 966页
• 字数 1192千字

【内容简介】

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书,以查阅为主。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

【目录】

1 MEMS设计流程

2 半导体和介质材料的添加工艺

3 金属材料的添加工艺

4 聚合物材料的添加工艺

5 压电材料的添加工艺：压电MEMS

6 形状记忆合金材料与工艺

7 微机械加工中的干法刻蚀

8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程

9 MEMS光刻和微加工技术

10 MEMS中的掺杂工艺

11 圆片键合

12 MEMS封装材料

13 表面处理及平坦化

14 MEMS工艺集成