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纳机电系统

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作者(法)劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg)

出版社机械工业出版社

ISBN9787111591276

出版时间2018-04

版次1

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

页数134页

字数99999千字

定价59元

上书时间2024-07-15

评价526好评率 99.62%

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詩酒年华
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品相描述：九五品
商品描述
基本信息
书名:纳机电系统
定价：59.00元
作者:(法)劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg),(法)朱利安·阿尔卡莫内(Julien Arcamone) 著,曹峥 译
出版社：机械工业出版社
出版日期：2018-04-01
ISBN：9787111591276
字数：174000
页码：134
版次：1
装帧：平装
开本：16开
商品重量：
编辑推荐

内容提要
本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。
目录
译者序原书前言物理常数物理量章从MEMS到NEMS11.1微纳机电系统：概述11.2小结7第2章纳米尺度上的转导与噪声的概念92.1机械传递函数92.2转导原理142.2.1纳米结构的驱动152.2.2检测212.3自激振荡与噪声342.4小结39第3章NEMS与其读出电路的单片集成413.1简介413.1.1为什么要将NEMS与其读出电路进行集成413.1.2MEMS-CMOS与NEMS-CMOS之间的区别423.2单片集成的优势与主要途径433.2.1集成方案及其电气性能的比较433.2.2闭环NEMS-CMOS振荡器：构建基于NEMS的频率传感器的必不可少的组成模块463.2.3从制造技术的角度概述主要成就473.3从转导的角度对一些显著成就的分析513.3.1电容式NEMS-CMOS的案例513.3.2压阻式NEMS-CMOS的案例553.3.3替代途径583.4小结与未来展望59第4章NEMS与尺度效应604.1简介604.1.1固有损耗644.1.2外部损耗654.2纳米结构中的近场效应：卡西米尔力694.2.1卡西米尔力的直观解释694.2.2问题704.2.3两个硅板之间卡西米尔力的严格计算724.2.4纳米加速度计内卡西米尔力的影响764.2.5本节小结794.3“固有”尺度效应的示例：电传导定律804.3.1电阻率804.3.2压阻效应854.4光机纳米振荡器和量子光机934.5小结101第5章结论与应用前景：从基础物理到应用物理102附录114附录A针对纳米线的“自下而上”和“自上而下”制造工艺114A.1“自下而上”制造114A.2“自上而下”制造116附录B卡西米尔力详述117参考文献119
作者介绍

序言

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