• 光刻胶材料评测技术 (日) 关口淳著 9787122438003 化学工业出版社 2024-04-01 普通图书/工程技术
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光刻胶材料评测技术 (日) 关口淳著 9787122438003 化学工业出版社 2024-04-01 普通图书/工程技术

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江西南昌
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作者(日) 关口淳著

出版社化学工业出版社

ISBN9787122438003

出版时间2024-04

装帧精装

开本其他

定价198元

货号4612237

上书时间2024-12-15

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商品描述
目录
本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。

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