飞秒激光微器件制备质量优化技术研究/光电材料器件测试及控制技术系列丛书
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作者潘雪涛
出版社江苏大学出版社
ISBN9787568413022
出版时间2020-07
装帧平装
开本32开
定价40元
货号31031350
上书时间2024-05-30
商品详情
- 品相描述：全新
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作者简介
潘雪涛，1973年生，江苏常州人。1996年毕业于中国计量学院力学计量与测试专业，2008年获南京理工大学测试计量技术及仪器专业硕士学位，2017年获上海大学机械制造及其自动化专业博士学位。
目录
第一章 绪论
1.1 微器件制备质量优化的目的和意义
1.2 国内外研究概况
1.2.1 微加工技术概述
1.2.2 飞秒激光技术的发展
1.2.3 飞秒激光微加工特点及应用
1.2.4 飞秒激光双光子微加工研究概况
1.3 本书的主要内容
第二章 飞秒激光双光子微加工机理
2.1 引言
2.2 飞秒激光与物质的相互作用
2.2.1 激光与物质的相互作用
2.2.2 飞秒激光与物质相互作用的特性
2.3 双光子吸收原理
2.3.1 双光子吸收过程
2.3.2 双光子吸收的理论模型
2.4 飞秒激光双光子微加工的原理及特点
2.4.1 飞秒激光双光子微加工的原理
2.4.2 飞秒激光双光子微加工的特点
2.5 飞秒激光双光子聚合材料
2.5.1 自由基聚合材料
2.5.2 阳离子聚合材料
2.6 本章小结
第三章 飞秒激光微加工系统及器件制备
3.1 引言
3.2 飞秒激光微加工系统
3.2.1 实验系统的组成
3.2.2 飞秒激光光源
3.2.3 激光共焦光路
3.2.4 曝光控制系统
3.2.5 实时监测系统
3.2.6 软件系统
3.3 微器件的制备
3.3.1 扫描方式
3.3.2 曝光方式
3.3.3 影响飞秒激光微加工质量的因素分析
3.4 本章小结
第四章 折射率不同对微加工的影响及其补偿方法
4.1 引言
4.2 光在不同介质中传播的理论分析
4.3 加工点光斑强度的数值模拟
4.3.1 不同加工深度焦点光斑光强分布
4.3.2 不同折射率材料焦点光斑光强分布
4.3.3 不同数值孔径焦点光斑光强分布
4.4 像差计算及分析
4.5 像差补偿理论及实验
4.5.1 离焦点扩散函数
4.5.2 球差补偿模型
4.5.3 球差补偿数值模拟
4.5.4 球差补偿方法
内容摘要
本书以作者攻读博士学位期间承担相关课题的工作为基础，围绕飞秒激光微器件制备质量优化中的若干问题，系统阐述了像差补偿、加工光斑三维整形以及扫描步距优化等方面的理论与实验研究。全书共分为七章，内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统
、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。本书适合从事飞秒激
光微加工研究的工程技术人员和科研人员使用和参
考。
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