微光机电系统

图书标准信息

• 作者 [日]泽田廉士、[日]羽根一博、[日]日暮荣治 著；李元燮 译
• 出版社 科学出版社
• 出版时间 2005
• ISBN 9787030133137
• 定价 38.00元
• 装帧 其他
• 开本 24cm
• 页数 347页
• 正文语种 简体中文
• 原著语种 Japanese

【内容简介】

本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。