• 3D集成手册--3D集成电路技术与应用(精)
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3D集成手册--3D集成电路技术与应用(精)

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作者编者:(美)菲利普·加罗//克里斯多夫·鲍尔//(德)彼得·兰姆|译者:赵元富//姚全斌//白丁

出版社中国宇航

ISBN9787515913001

出版时间2017-05

装帧其他

开本其他

定价198元

货号30017814

上书时间2024-10-26

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   商品详情   

品相描述:全新
商品描述
目录
    4.2.1  高密度等离子体反应器
    4.2.2  等离子体化学
    4.2.3  等离子体诊断和表面分析
  4.3  DRIE工艺
第二篇  晶圆减薄与键合技术
第三篇  集成过程
第四篇  设计、性能和热管理
第五篇  应用

内容摘要
 三维(3D)集成是一种新兴的系统级集成封装技术,通过垂直互连将不同芯片或模块进行立体集成。菲利普·加罗、克里斯多夫·鲍尔、彼得·兰姆主编的《3D集成手册--3D集成电路技术与应用(精)》对国内外研究所和公司的不同3D集成技术进行了详细介绍,系统阐述了不同工艺的设计原理和制作流程。本书旨在及时、客观地向工程师和学者们提供该领域的前沿信息,供相关科研人员及高等院校相关专业的研究生
学习、参考与使用。

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