扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
￥ 788 ￥ 188 九五品
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浙江杭州
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作者工业和信息化部电子第五研究所
出版社电子工业出版社
ISBN9787121428777
出版时间2022-03
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数500页
定价188元
上书时间2024-12-21
商品详情
- 品相描述：九五品
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基本信息
书名:扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
定价：188.00元
作者:工业和信息化部电子第五研究所
出版社：电子工业出版社
出版日期：2022-03-01
ISBN：9787121428777
字数：
页码：500
版次：2
装帧：平装
开本：16开
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内容提要
本书从应用的角度出发，介绍了扫描电镜和能谱仪的基本原理及其在实际工作中的一些典型应用。全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括~9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及一些改善图像质量的应对方法和措施，也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项，以供用户在规划和选择安装场地时参考。 下篇包括0~18章，主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，其中包括Si(Li)与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。最后还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。 书中的附录还收录了真空压力单位的换算表，编撰了能谱分析中可能出现易被误判的假峰等可能的干扰峰，还加入了部份与扫描电镜和能谱分析等有关的常用显微分析的标准号。
目录
上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较t21．1 光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念t21．1．1 光学显微镜的发展简史t31．1．2 光学透镜的特性t51．1．3 可见光的衍射t61．2 电子显微镜综述t81．3 国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就t111．4 我国研制、生产电镜历程及发展概况t181．5 几种常见的扫描电镜和小型台式透射和扫描电镜t221．5．1 几种常见的扫描电镜t231．5．2 几种常见的小型台式透射和扫描电镜t241．6 电子的基本参数及其与物质的相互作用t261．6．1 电子的基本参数t261．6．2 电子束的波长t271．6．3 入射电子和试样的相互作用及其产生的信号电子t29参考文献t33第2章 扫描电镜的原理和结构t342．1 扫描电镜的原理t342．1．1 镜筒概述t342．1．2 供电系统t352．2 电子枪的束斑和束流t372．3 扫描电镜的放大倍率t382．4 扫描电镜的电子束斑t392．5 镜筒t402．6 电子枪阴极t412．6．1 钨阴极t422．6．2 氧化钇铱阴极t462．6．3 六硼化镧阴极t482．6．4 场发射阴极电子枪t532．7 电磁透镜t612．8 扫描偏转线圈t642．9 样品仓的外形与内部t682．10 真空压力单位t772．11 低真空和环境扫描电镜t100参考文献t105第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像t1073．1 二次电子和背散射电子信号的收集与显示t1073．2 二次电子探测器t1083．3 二次电子像的性质t1083．4 传统的E-T型二次电子探测器t1103．5 光电倍增管t1113．5．1 光电倍增管的结构t1113．5．2 光电倍增管的特性t1133．5．3 光电倍增管的稳定性t1143．5．4 光电倍增管的典型供电电路t1153．5．5 光电倍增管的疲劳与衰老t1163．6 YAG材料的二次电子探测器及背散射电子探测器t1163．7 透镜内二次电子探测器t1183．8 环境扫描和低真空电镜的二次电子探测器t1203．8．1 气体二次电子探测器t1213．8．2 大视场低真空探测器t1223．8．3 改进型的低真空E-T二次电子探测器t1233．9 与图像分辨力有关的几个主要因素t1253．10 入射的电子束流与束斑直径t1263．11 图像的信噪比和灰度t1283．12 试样上电流的进出关系t1323．13 吸收电子像（AEI）t1333．14 扫描电镜图像的几何分辨力与像素t1333．15 图像的立体效应和入射束与试样表面的角度关系t1353．16 二次电子的电压衬度像t1413．17 试样表面的形貌与图像的反差t1423．18 焦点深度（景深）t1433．19 物镜光栏的选择t1453．20 加速电压效应t1473．21 背散射电子的探测方式和图像t1493．22 阴极荧光像t1593．23 电子束感生电流像t1623．24 图像处理功能t1723．25 扫描透射电子探测器t1773．26 电子束减速着陆方式t179参考文献t181第4章 扫描电镜的实际操作t1834．1 电镜的启动t1834．2 试样的安装、更换及停机t1844．3 图像的采集t1864．4 电镜图像中几种常见的像差t1884．5 图像的调焦、消像散和动态聚焦t1974．6 屏幕的分割与双放大功能t2004．7 电镜图像的不正常现象t2024．8 提高图像亮度的几种措施t215参考文献t216第5章 试样的制备t2175．1 超声清洗和镀膜t2175．2 粉体试样t2205．3 块状试样t2215．4 磁性材料t2235．5 生物试样t2245．6 制样仪器与工具t2265．7 制作和粘贴试样的主要工具和器材t237第6章 应用图例t2406．1 印制电路板的失效分析和检测t2406．2 陶瓷电容端头的硫化银t2446．3 微观尺寸的测量t2456．4 半导体器件的失效分析t2476．5 金属断口分析t2556．6 继电器触点的表面分析t2586．7 锡晶须的生长t2606．8 印制电路板上出现的黑镍现象和镍层腐蚀t2636．9 金属膜电阻的失效分析t2656．10 陶瓷电容的容量漂移t2676．11 电真空器件t2696．12 微型电机t2716．13 蚊子的生物照片t2736．14 VC与EBIC像在半导体器件失效分析中的应用t276参考文献t276第7章 电镜的维护与保养t2777．1 衬管的拆卸与清洁t2777．2 光栏的清洁t2807．3 闪烁体的保养t2847．4 显示器的保养和维护t2857．5 真空系统的维护t2877．6 冷却循环水机的维护t2937．7 电镜的控制计算机t2947．8 与电镜配套的不间断电源t295第8章 电镜的安装环境和对实验室的要求t2998．1 安装地点的选择t2998．2 空间与地面t2998．3 接地t3018．4 照明t3028．5 室内温度、湿度、通风和排气t3028．6 防振和防磁t3038．7 供电电源t3058．8 供水t3088．9 环境噪声t3088．10 其他t309参考文献t309第9章 展望将来的扫描电镜t310参考文献t311下篇 能谱仪的原理与实用分析技术0章 X射线显微分析仪的发展概况及其定义和性质t31410．1 国外X射线显微分析仪的发展概况t31410．2 国内X射线微区分析仪器的研制简况t32010．3 X射线的定义及性质t32110．4 X射线的度量单位t322参考文献t3231章 能谱仪的工作原理t32411．1 锂漂移硅探测器t32411．2 锂漂移硅芯片的结构t33011．3 硅漂移X射线能谱探测器t33111．4 X射线的吸收和处理过程t344参考文献t3502章 入射电子与物质的相互作用及X射线的产生t35112．1 电子能级的跃迁和X射线的产生t35112．2 荧光产额与荧光激发t35512．3 连续辐射谱的产生t35512．4 莫塞莱定律和X射线定性分析的依据t35612．5 X射线的吸收t35812．6 二次（荧光）发射t359参考文献t3593章 X射线的探测限和假峰t36113．1 探测限t36113．2 不同密封窗材料的探测范围t36313．3 空间几何分辨力t36913．4 重叠峰t37313．5 假峰t373参考文献t3764章 电镜参数的选择t37714．1 加速电压的选择t37814．2 电子源的亮度t38114．3 镜筒的合轴t38414．4 探测器与试样的相对几何位置t385参考文献t3885章 能谱的定性和定量分析简述t38915．1 定性分析简述t38915．2 定性分析结果的主要表示方法t39215．3 定量分析简述t39715．4 扣除背底t40015．5 实际操作中的定量分析t40315．6 提高定量分析准确度的要点小结t41815．7 定量分析的实例t419参考文献t4246章 谱线峰的失真与外来的干扰t42516．1 谱线峰的失真t42516．2 谱线峰偏离高斯分布t42616．3 振动与噪声干扰t42716．4 独立接地t42716．5 杜瓦瓶中的冰晶和底部结冰的处理t42816．6 密封窗的污染和破损t42916．7 减少探测器中晶体的污染t43016．8 背底的失真t43016．9 减少高能背散射电子进入探测器t43116．10 减少外来的杂散辐射t431参考文献t4327章 能谱仪的性能指标t43317．1 检出角t43317．2 探测的元素范围t43317．3 能量分辨力t43417．4 峰背比t43517．5 谱峰位随计数率和时间的变化而漂移t43617．6 液氮消耗量t43717．7 X射线的泄漏量t43817．8 其他功能t43817．9 谱仪的维护与保养小结t439参考文献t4438章 X射线波长的探测与波谱仪t44418．1 波长衍射t44518．2 传统的罗兰圆波谱仪的主要特点t44818．3 波谱仪对试样的探测和输出t45518．4 能谱仪与罗兰圆波谱仪的比较t45618．5 平行光波谱仪t45718．6 平行光波谱仪的特点t46118．7 能谱仪、波谱仪和EBSD等与扫描电镜的一体化t463参考文献t466附录At467A．1 压力单位换算表t467A．2 真空技术主要术语和含义t467A．3 与电镜分析有关的部分常用标准t468A．4 可视化重叠峰剥离功能t471A．5 入射电子束的加速电压与对应元素的激发深度t473A．6 由于假峰而可能会引起误判的有关元素谱线表t474A．7 能谱、波谱分析中常用的部分标准t478A．8 能谱仪用的元素周期表t480参考文献t480致谢t481
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序言
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