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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

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作者顾长志等

出版社科学出版社

ISBN9787030378255

出版时间2020-12

装帧精装

开本16开

定价138元

货号24188819

上书时间2024-10-19

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商品描述
导语摘要
本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与**发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

目录
《纳米科学与技术》丛书序

前言

章光学曝光

1．1光学曝光系统的基本组成

1．2光学曝光的基本原理与特征

1．2．1光学曝光的基本模式与原理

1．2．2光学曝光的过程

1．2．3分辨率增强技术

1．3短波长光学曝光技术

1．3．1深紫外与真空紫外曝光技术

1．3．2极紫外曝光技术

1．3．3X射线曝光技术

1．3．4LIGA加工技术

1．4光学曝光加工纳米结构

1．4．1泊松亮斑纳米曝光技术

1．4．2表面等离激元纳米曝光技术

1．4．3基于双层图形技术的纳米加工

1．5光学曝光加工三维微纳结构

1．5．1灰度曝光技术

1．5．2基于欠曝光的三维曝光技术

1．5．3基于菲涅耳衍射与邻近效应的三维曝光技术

参考文献

第2章电子束曝光技术

2．1电子束曝光系统组成

2．1．1电子枪

2．1．2透镜系统

2．1．3电子束偏转系统

2．2电子束曝光系统的分类

2．2．1扫描模式

2．2．2束形成

2．3电子束抗蚀剂

2．3．1电子束抗蚀剂的性能指标

2．3．2电子束抗蚀剂制作图形工艺

2．3．3常用电子束抗蚀剂及其工艺过程

2．3．4特殊的显影工艺

2．3．5多层抗蚀剂工艺

2．3．6理想抗蚀剂剖面的加工

2．4电子束与固体的相互作用及邻近效应

2．4．1电子束与固体的相互作用

2．4．2邻近效应及校正

2．5充电效应及解决方法

2．5．1引入导电膜

2．5．2变压电子束曝光系统

2．5．3临界能量电子束曝光

2．6三维结构的制备

2．6．1平整衬底上三维结构的加工

2．6．2三维衬底上图形的制备

2．7电子束曝光分辨率

2．8新型的电子束曝光技术

2．8．1投影电子束曝光

2．8．2微光柱阵列电子束曝光

2．8．3反射电子束曝光

参考文献

第3章聚焦离子束加工技术

3．1聚焦离子束系统的基本组成

3．2聚焦离子束的基本功能与原理

3．2．1离子束成像

3．2．2离子束刻蚀

3．2．3离子束辅助沉积

3．2．4FIB的传统应用

3．3聚焦离子束的三维纳米加工

3．3．1FIB刻蚀加工三维结构

3．3．2FIB沉积加工三维结构

3．3．3FIB辐照加工三维结构

3．4聚焦离子束技术的发展

……

第4章激光加工技术

第5章纳米压印技术

第6章刻蚀技术

第7章薄膜技术

第8章自组装加工

第9章微纳加工在电学领域的应用

0章微纳加工在光学领域的应用

1章微纳加工在磁学领域的应用

2章微纳加工在其他领域的应用

索引

内容摘要
本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与**发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

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