高等学校教学参考书 半导体器件工艺原理 内容概述：工艺概述 氧化工艺 扩散工艺 光刻工艺 电极制备及引战封装 制版工艺 化学清洗 表面钝化工艺及半导体器件工艺常用数据表 半导体器件工艺常用曲线图
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河北唐山
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作者厦门大学物理系半导体物理教研室 编
出版社人民教育出版社
出版时间1977-06
版次1
印刷时间1977-12
印次1
装帧平装
开本32开
上书时间2023-02-17
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