等离子体技术与应用实验教程

图书标准信息

• 作者 马志斌、付秋明、郑志荣 著
• 出版社 化学工业出版社
• 出版时间 2014-11
• 版次 1
• ISBN 9787122216045
• 定价 30.00元
• 装帧 平装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 169页
• 字数 267千字
• 正文语种 简体中文

【内容简介】

　　《等离子体技术与应用实验教程》内容涵盖等离子体技术典型应用和等离子体技术领域最新进展，把等离子体技术的理论知识与实践教学有机结合起来，设计实验教学体系并配套搭建等离子体技术实验教学平台，培养学生从事科研工作的兴趣，提高学生的创新意识和能力。全书分为四大部分，第一部分为等离子体基本原理实验，第二部分为等离子体在材料工程中的应用，第三部分为等离子体在微电子中的应用，第四部分为等离子体在环境工程中的应用。
　　本书可作为理工科院校材料、物理、化学、环境等相关专业本科生、研究生的实验教材，也可供从事等离子体技术应用的工程技术人员使用和参考。

【目录】

第一部分：等离子体基本原理实验
实验一 直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量
实验二 气体击穿电压的测定及帕邢定律验证
实验三 汤森第一电离系数α及比值α/p的测定
实验四 直流辉光放电等离子体参数的测量
实验五 射频等离子体的激发特性研究
实验六 非磁化微波等离子体电子参数的测量
实验七 ECR微波等离子体离子参数的测量
第二部分:等离子体在材料工程中的应用
实验八 微波等离子体化学气相沉积实验--形核研究
实验九 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验
实验十 直流等离子体溅射制备碳膜实验
实验十一 微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验
实验十二 微波等离子体冶金实验
实验十三 常压微波等离子体引发聚合实验
实验十四 微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究
实验十五 直流辉光等离子体表面改性实验
实验十六 等离子体渗氮硬化金属表面实验
实验十七 微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管
实验十八 纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性
实验十九 空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜
第三部分:等离子体在微电子中的应用
实验二十 ECR微波等离子体刻蚀加工实验
实验二十一 微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验
实验二十二 等离子体发射光谱分析实验
实验二十三 电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析
第四部分：等离子体在环境工程中的应用
实验二十四 电晕等离子体处理有机废水的退色实验
实验二十五 电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量(COD)的影响
实验二十六 常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验
实验二十七 常压微波等离子体射流处理含硫废气实验
实验二十八 低温射频等离子体杀菌消毒实验