聚焦离子束微纳加工技术

图书标准信息

• 作者 顾文琪、马向国、李文萍 著
• 出版社 北京工业大学出版社
• 出版时间 2006
• ISBN 9787563916900
• 定价 55.00元
• 装帧 其他
• 开本 26cm
• 页数 344页
• 正文语种 简体中文

【内容简介】

本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。