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半导体材料

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作者张源涛,杨树人,徐颖编著

出版社科学出版社

ISBN9787030751911

出版时间2023-03

装帧平装

开本其他

定价59元

货号12278766

上书时间2025-01-01

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目录
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绪论1

第1章硅和锗的化学制备4

1.1硅和锗的物理化学性质4

1.2高纯硅的制备6

1.3锗的富集与提纯13

第2章区熔提纯16

2.1相图16

2.2分凝现象与分凝系数25

2.3区熔原理29

2.4锗的区熔提纯38

第3章晶体生长39

3.1晶体生长理论基础39

3.2熔体的晶体生长55

3.3硅、锗单晶生长61

第4章硅、锗晶体中的杂质和缺陷68

4.1硅、锗晶体中杂质的性质68

4.2硅、锗晶体的掺杂71

4.3硅、锗单晶的位错87

4.4硅单晶中的微缺陷92

第5章硅外延生长96

5.1外延生长概述96

5.2硅衬底制备98

5.3硅的气相外延生长102

5.4硅外延层电阻率的控制113

5.5硅外延层的缺陷118

5.6硅的异质外延122

第6章Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体127

6.1Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的特性127

6.2砷化镓单晶的生长方法133

6.3砷化镓单晶中杂质的控制140

6.4砷化镓单晶的完整性144

6.5其他Ⅲ-Ⅴ族化合物的制备146

第7章Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长150

7.1气相外延生长(VPE)150

7.2金属有机物气相外延生长(MOVPE)153

7.3液相外延生长(LPE)160

7.4分子束外延生长(MBE)165

7.5化学束外延生长(CBE)169

7.6其他外延生长技术171

第8章Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体176

8.1异质结与晶格失配177

8.2GaAlAs外延生长178

8.3InGaAsP外延生长182

第9章Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体187

9.1Ⅱ-Ⅵ族化合物单晶材料的制备187

9.2Ⅱ-Ⅵ族化合物的点缺陷与自补偿现象193

9.3Ⅱ-Ⅵ族多元化合物材料196

第10章低维结构半导体材料201

10.1低维结构半导体材料的基本特性201

10.2半导体超晶格与量子阱202

10.3半导体量子线与量子点211

10.4低维结构半导体材料的现状及未来215

第11章氧化物半导体材料217

11.1氧化物半导体材料的制备217

11.2氧化物半导体材料的电学性质220

11.3氧化物半导体材料的应用223

第12章宽禁带半导体材料228

12.1Ⅲ族氮化物半导体材料228

12.2SiC材料237

第13章其他半导体材料248

13.1窄带隙半导体248

13.2黄铜矿型半导体250

13.3非晶态半导体材料251

13.4有机半导体材料252

13.5钙钛矿半导体材料255

参考文献256

内容摘要
本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺,以及特性的控制等。全书共13章:第1章为硅和锗的化学制备;第2章为区熔提纯;第3章为晶体生长;第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷;第5章为硅外延生长;第6章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体;第7章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长;第8章为Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体;第9章为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体;第10章为低维结构半导体材料;第11章为氧化物半导体材料;第12章为照明半导体材料;第13章为其他半导体材料。

精彩内容
本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺,以及特性的控制等。全书共13章:第1章为硅和锗的化学制备;第2章为区熔提纯;第3章为晶体生长;第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷;第5章为硅外延生长;第6章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体;第7章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长;第8章为Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体;第9章为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体;第10章为低维结构半导体材料;第11章为氧化物半导体材料;第12章为照明半导体材料;第13章为其他半导体材料。

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