产业专利分析报告（第50册）——芯片先进制造工艺

图书标准信息

• 作者 张茂于
• 出版社 知识产权出版社
• 出版时间 2017-06
• 版次 1
• ISBN 9787513049535
• 定价 68.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 268页
• 字数 385千字

【内容简介】

本书是芯片先进制造工艺行业的专利分析报告。报告从该行业的专利（国内、国外）申请、授权、申请人的已有专利状态、其他先进国家的专利状况、同领域领先企业的专利壁垒等方面入手，充分结合相关数据，展开分析，并得出分析结果。本书是了解该行业技术发展现状并预测未来走向，帮助企业做好专利预警的必备工具书。

【作者简介】

审查业务部的各报告课题组，及相关行业协会。每个课题组有20-30个人组成，分别进行数据收集、整理、分析、制图、审核、统稿。

【目录】

 第1章研究概述

1.1研究背景

1.1.1技术概况

1.1.2产业现状

1.1.3行业需求

1.2研究对象和方法

1.2.1技术分解

1.2.2数据检索

1.2.3查全率、查准率评估

1.2.4相关事项约定

第2章芯片制造工艺专利现状分析

2.1概述

2.1.1外延工艺简述

2.1.2光刻工艺简述

2.1.3刻蚀工艺简述

2.1.4掺杂工艺简述

2.1.5铜互连工艺简介

2.2全球专利申请状况

2.2.1全球专利申请态势分析

2.2.2全球主要申请人分析

2.2.3专利申请国别地区分布

2.3中国专利申请状况

2.3.1中国专利申请态势分析

2.3.2中国主要申请人分析

2.3.3法律状态分析

2.4小结与建议

第3章光刻技术专利现状分析

3.1概述

3.2浸没式光刻技术的专利分析

3.2.1全球专利申请状况

3.2.2中国专利申请状况

3.3多重图形光刻技术的专利分析

3.3.1全球专利申请状况

3.3.2中国专利申请状况

3.4电子束光刻技术的专利现状

3.4.1全球专利申请状况

3.4.2中国专利申请状况

3.5小结与建议

第4章先进逻辑器件结构及其制造工艺专利现状分析

4.1FinFET技术的专利现状

4.1.1概述

4.1.2全球专利申请态势分析

4.1.3中国专利申请态势分析

4.1.4FinFET技术发展路线

4.2FDSOI技术的专利现状

4.2.1概述

4.2.2全球专利申请态势分析

4.2.3中国专利申请态势分析

4.2.4FDSOI技术技术发展路线

4.3NWFET技术的专利现状

4.3.1概述

4.3.2全球专利申请态势分析

4.3.3中国专利申请态势分析

4.4小结与建议

第5章3D

NAND制造工艺的专利现状分析

5.1概述

5.2全球专利申请态势分析

5.2.1申请趋势分析

5.2.2主要技术分布

5.2.3重要申请人分析

5.2.4重要发明人分析

5.3中国专利申请态势分析

5.3.1申请趋势分析

5.3.2主要申请人分析

5.4技术发展路线

5.4.1三星

5.4.2东芝

5.4.3海力士

5.5非实体生产公司专利布局

5.6小结与建议

第6章攻防分析

6.1旺宏与飞索

6.1.1旺宏专利状况

6.1.2飞索专利状况

6.1.3旺宏与飞索专利诉讼

6.1.4专利比对

6.1.5小结与建议

6.2海力士与东芝

6.2.1海力士专利状况

6.2.2东芝专利状况

6.2.3战略联盟

6.2.4海力士与东芝闪迪专利诉讼

6.2.5专利比对

6.2.6小结与建议

第7章结论

7.1主要结论

7.1.1晶圆处理工序及其关键步骤

7.1.2先进逻辑器件及其制造工艺

7.1.33D

NAND存储器件及其制造工艺

7.1.4攻防分析

7.2主要建议

7.2.1企业建议

7.2.2行业建议

附录

图索引

表索引