微机电器件设计、制造及计算机辅助设计大中专理科机械郭占社[

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作者郭占社[

出版社北京航空航天大学出版社

ISBN9787512421097

出版时间2016-05

装帧其他

开本32

页数272页

定价65元

货号716_9787512421097

上书时间2024-09-01

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商品描述: 目录：

chapter 1 introduction1.1 concept of mems1.2 development of mems1.3 mems cadchapter 2 basic theory of mems2.1 theory of electrostatic mems b actuators2.1.1 introduction2.1.2 operating principles2.1.3 te capacitor theory in ideal condition2.1.4 the modified model of mems te capaciator

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