超大规模集成电路先进光刻理论与应用
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广东广州
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作者韦亚一 著
出版社科学出版社
ISBN9787030482686
出版时间2016-06
版次1
装帧精装
开本16开
纸张胶版纸
页数558页
字数780千字
定价260元
货号D1-5
上书时间2024-11-22
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