铟镓砷光电探测器及其焦平面阵列
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作者龚海梅,李雪,张永刚
出版社科学出版社
ISBN9787030720948
出版时间2022-07
装帧平装
开本16开
定价160元
货号1202731394
上书时间2024-07-04
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作者简介
龚海梅，中国科学院上海技术物理研究所研究员，中国科学院大学、上海科技大学教授，中国光学学会红外与光电器件专业委员会主任委员，上海市传感技术学会理事长，享受国务院政府特殊津贴。长期从事光传感器、探测器组件及其抗辐射机理与可靠性研究。获国家自然科学奖和科技进步奖等奖各1项、省部级科技奖励12项，获上海市领军人才等多项荣誉。培养硕士、博士研究生60余名，发表学术论文两百余篇，授权发明专利50余项。
目录
第1章空间遥感与光电探测
1.1引言
1.2空间遥感及其应用
1.2.1电磁波谱及其波段划分
1.2.2大气层及其透射窗口
1.2.3空间遥感技术及其应用
1.3光电探测及其空间应用
1.3.1光电探测基本原理
1.3.2典型光电探测仪器
1.3.3光电探测器
1.3.4红外探测器的空间应用
1.4空间遥感对光电探测器的需求
1.4.1空间遥感应用的基本要求
1.4.2红外探测器（焦平面）的主要参数
1.4.3系统对红外探测器（焦平面）的要求
1.5铟镓砷光电探测器及其空间应用
1.5.1铟镓砷光电探测器
1.5.2铟镓砷探测器的空间应用
1.6小结
参考文献
第2章近红外/短波红外特点及铟镓砷器件应用特色
2.1引言
2.2空间应用
2.3光谱传感应用
2.4其他应用
2.5小结
参考文献
第3章铟镓砷的前世今生
3.1引言
3.2InGaAs系材料的缘起钩沉
3.3InGaAs系材料的基本特性
3.4InGaAs与光纤通信的渊源
3.5InGaAs与其他材料体系的比较
3.6小结
参考文献
第4章光伏型光电探测器的基本特性及表征
4.1引言
4.2静态特性
4.2.1IV特性
4.2.2光响应特性
4.2.3光谱特性
4.2.4抗辐照特性
4.3动态特性
4.3.1CV特性
4.3.2瞬态特性
4.3.3黑体响应
4.3.4噪声特性
4.4优值系数与评估规则
4.4.1优值系数D
4.4.2优值系数R0A
4.4.3评估规则Rule
4.4.4评估规则IGARule
4.5小结
参考文献
第5章铟镓砷光电探测材料外延生长技术
5.1引言
5.2主要外延生长技术
5.2.1液相外延（LPE）
5.2.2气相外延（VPE）
5.2.3分子束外延（MBE）
5.3气态源分子束外延（GSMBE）
5.3.1Ⅲ族源
5.3.2Ⅴ族源
5.3.3生长设备
5.4InGaAs光电探测器材料的GSMBE生长
5.4.1晶格匹配材料
5.4.2波长扩展材料
5.5小结
参考文献
第6章材料特性表征方法与技术
6.1引言
6.2结构特性
6.2.1晶体结构、晶格参数、失配度及组分
6.2.2表面形貌显微分析
6.2.3微观状态、缺陷及成分分析
6.3光学与光电特性
6.3.1吸收与反射特性
6.3.2发光特性
6.3.3材料均匀性表征及其与FPA性能的关联
6.4电学与输运特性
6.4.1载流子浓度、迁移率
6.4.2载流子寿命、扩散系数和扩散长度
6.4.3缺陷能级与密度
6.5小结
参考文献
第7章InGaAs光电探测器及焦平面工艺技术
7.1引言
7.2器件结构设计与模拟
7.3器件制造标准工艺
7.4成结工艺
7.4.1刻蚀成结技术
……
内容摘要
本书探讨了空间遥感方面航天载荷的发展及其对光电探测器件的基本要求，介绍了近红外/短波红外的特点及铟镓砷器件的应用特色，回顾了铟镓砷材料体系的前世今生及其发展历程，进而从光伏型光电探测器的基本原理和特性出发，结合实际工作中积累的诸多具体实例，详细讨论了铟镓砷光电探测器及焦平面阵列的材料生长技术、芯片工艺技术、封装及可靠性技术、焦平面读出电路技术及相关的材料和器件性能参数测试表征方法和技术等，以及此方面的光电探测新器件、新技术和新发展。本书可供从事半导体光电探测材料、器件与组件研发及应用工作，特别是涉及近红外/短波红外铟镓砷方面的研究生、研究人员及工程技术人员阅读，也可作为其他涉及此领域人员的参考书。
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