精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统:sensors and measuring systems for nanomanufacturing

1测量表面坡度和倾斜运动的角度传感器

 1.1简介；1.2带有象限光电二极管的角度传感器；1.3带有光电二极管阵列的角度传感器；1.4带有单元光电二极管的角度传感器；1.5小结；1.6参考

 2用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪

 2.1引言；2.2双轴激光自准直仪；2.3单镜头激光微自准直仪；2.4三轴激光自准直仪；2.5总结

 3用于测量面内运动的表面编码器

 3.1引言；3.2用于MDOF面内运动的表面编码器；3.3两轴正弦网格表面编码器的制造；3.4表面编码器在表面电机驱动平面阶段的应用；3.5总结；3.6参考文献

 4用于测量平面内和平面外运动的光栅编器

 4.1介绍；4.2二自由度线性光栅编码器；4.3带正弦网格的三轴光栅编码器；4.4矩形XY网格的三轴光栅编码器；4.5总结；4.6参考文献

 5测量圆度的扫描多探针系统

 5.1介绍；5.2坡度传感器方法；5.3混合方法；5.4总结；5.5参考文献

 6测量直线度的扫描误差分离系统

 6.1简介；6.2具有自调零的三位移传感器方法；6.3机床滑块的误差分离方法；6.4总结；6.5参考

 7微型非球面的测量的扫描微型手写笔系统

 7.1简介；7.2扫描错误动作补偿；7.3微型探针；7.4微型非球面的小型测量仪器；7.5总结；7.6参考文献

 8用于微纹理表面的大面积扫描探针显微镜

 8.1简介；8.2电容式传感器补偿扫描探针显微镜；8.3线性编码器补偿扫描探针显微镜；8.4螺旋扫描探针显微镜；8.5总结；8.6参考

 9测量三维纳米结构的自动对准扫描探针显微镜系统

 9.1简介；9.2自动对准光学探针；9.3自动对准AFM的仪器；9.4小结；9.5参考

 10用于测量微小尺寸的扫描图像传感器系统

 10.1介绍；10.2微宽度测量的扫描区域图像传感器；10.3微小半径测量的扫描线图像传感器；10.4总结；10.5参考

本书第一部分-4章描述了用于测量角度和位移的光学传感器，它们是准确纳米测量的基本量。提出了用于改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术以及开发了新的多轴感测方法。

 第二部分第5-10章介绍了许多用于表面形状和台阶运动的准确纳米测量的扫描型测量系统。 在纳米制造中，最基本的几何形状——直线度和圆度测量的误差分离算法和系统，在第五章和第六章中进行了介绍。在第七章中，描述了微观非球面的测量，这需要扫描机理和探测技术的发展。在第8章和第9章中，描述了基于扫描探针显微镜的新型系统，用于针对新的、重要的纳米制造的微小挑战和纳米结构的准确纳米测量。第10章介绍扫描式图像传感器系统，它可以对长结构的微小尺寸进行快速，准确的测量。