多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
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作者陆学斌
出版社北京大学出版社
ISBN9787301339053
出版时间2023-04
装帧平装
开本16开
定价68元
货号1202874739
上书时间2024-09-12
商品详情
- 品相描述：全新
- 商品描述
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作者简介
陆学斌
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陆学斌，哈尔滨理工大学软件与微电子学院副教授，哈尔滨工业大学博士。2010年毕业于哈尔滨工业大学航天学院。目前主要从事半导体材料、传感器、模拟和数字集成电路等方面的相关研究。发表Ei或SCI检索论文12篇，教改论文4篇；主持黑龙江省自然科学基金面上项目1项、黑龙江省教育科学十三五规划课题1项、黑龙江省高等教育学会十三五规划课题1项；申请并获授权实用新型专利2项；出版教材4部。2016年获哈尔滨理工大学校级优秀教师，2018年获哈尔滨理工大学校级三全育人之优选个人。
目录
第1章绪论
1.1研究背景
1.2国内外研究现状
1.2.1多晶硅及隧道压阻理论的研究现状
1.2.2多晶硅压力传感器的研究现状
1.3研究目的和意义
1.4本书主要研究内容
第2章工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响
2.1多晶硅纳米薄膜的制备与结构表征
2.1.1不同厚度的多晶硅薄膜
2.1.2不同淀积温度的多晶硅纳米薄膜
2.1.3不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜
2.2工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响
2.2.1膜厚对多晶硅薄膜压阻特性的影响
2.2.2淀积温度对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响
2.2.3掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响
2.3工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻非线性的影响
……
内容摘要
本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分为五章，第一章主要介绍了多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第二章主要介绍了工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第三章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第四章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第五章主要介绍了多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。本书可以作为高等学校微电子技术和材料科学与工程等相关专业的参考书。
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