• 微纳米加工技术及其应用(第4版)
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微纳米加工技术及其应用(第4版)

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作者崔铮

出版社高等教育出版社

ISBN9787040543025

出版时间2020-09

装帧精装

开本16开

定价129元

货号1202133127

上书时间2024-08-29

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品相描述:全新
商品描述
目录
章绪论

1.1微纳来技术与微纳米加工技术

1.2微纳米加工的基本过程与分类

1.3本书的内容与结构

参考文献

第2章光学曝光技术

2.1引言

2.2光学曝光方式与原理

2.2.1掩模对准式曝光

2.2.2掩模投影式曝光

2.3光学曝光的工艺过程

2.4光刻胶的特性

2.4.1光刻胶的一般特性

2.4.2正性光刻胶与负性光刻胶的比较

2.4.3化学放大胶

2.4.4特殊光刻胶

……

内容摘要
本书在《微纳米加工技术及其应用》(第三版)的基础上,做了部分修订,增加了微纳米加工技术在过去6年中的一些近期新进展,特别是大规模集成电路光刻技术的进步。第四版仍保持第三版的风格,着重对各种加工技术的原理进行阐述,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点,包括每种加工技术的能力与极限及在应用过程中的注意事项。全书强调实用,避免烦琐的数学分析,而以大量图例加以说明:既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的近期新进展。在应用方面主要介绍了微纳米加工技术在超大规模集成电路加工、纳米电子学、高密度磁存储技术、光电子技术、微机电系统技术、生物芯片技术与纳米技术中的典型应用。每一章都列举了大量相关参考文献,供进一步发掘详细信息与深入研究。本书无论对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。

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