光刻机像质检测技术（上册） （16开精装 全1册)
本书介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光
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作者王向朝，戴凤钊 等
出版社科学出版
ISBN9787030673541
出版时间2021-04
版次31
装帧精装
开本16开
纸张胶版纸
页数548页
定价248元
货号k1575
上书时间2023-11-15
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- 本书介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
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