微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用（第二版）
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作者顾长志等
出版社科学出版社
ISBN9787030692542
出版时间2021-07
版次1
装帧其他
开本B5
纸张胶版纸
页数420页
字数527千字
定价128元
货号SC:9787030692542
上书时间2024-11-08
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商品详情
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内容简介:
本书共分十二章，第1－8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要近期新发展的一些创新方法；第9－12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。
目录:
目录
第二版前言
第一版前言
第1章光学曝光1
1.1光学曝光系统的基本组成1
1.2光学曝光的基本原理与特征3
1.2.1光学曝光的基本模式与原理3
1.2.2光学曝光的过程6
1.2.3分辨率增强技术19
1.3短波长光学曝光技术22
1.3.1深紫外与真空紫外曝光技术22
1.3.2极紫外曝光技术23
1.3.3X射线曝光技术24
1.3.4LIGA加工技术25
1.4光学曝光加工纳米结构25
1.4.1泊松亮斑纳米曝光技术26
1.4.2表面等离激元纳米曝光技术29
1.4.3基于双层图形技术的纳米加工31
1.4.4位移Talbot曝光技术32
1.5光学曝光加工三维微纳结构35
1.5.1灰度曝光技术36
1.5.2基于欠曝光的三维曝光技术38
1.5.3基于菲涅耳衍射与邻近效应的三维曝光技术40
参考文献41
习题42
第2章电子束曝光技术43
2.1电子束曝光系统组成44
2.1.1电子枪45
2.1.2透镜系统46
2.1.3电子束偏转系统47
2.2电子束曝光系统的分类48
2.2.1扫描模式48
2.2.2束形成49
2.3电子束抗蚀剂51
2.3.1电子束抗蚀剂的性能指标51
2.3.2电子束抗蚀剂制作图形工艺53
2.3.3常用电子束抗蚀剂及其工艺过程55
2.3.4新型电子束抗蚀剂58
2.3.5特殊的显影工艺59
2.3.6多层抗蚀剂工艺61
2.3.7理想抗蚀剂剖面的加工64
2.4电子束与固体的相互作用及邻近效应65
2.4.1电子束与固体的相互作用65
2.4.2邻近效应及校正67
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