半导体干法刻蚀技术：原子层工艺
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山东泰安
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作者[美]索斯藤·莱尔
出版社机械工业出版社
ISBN9787111734260
出版时间2023-10
版次1
装帧其他
开本16开
纸张胶版纸
页数240页
字数341千字
定价119元
货号9787111734260
上书时间2024-11-21
商品详情
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