本书主要介绍了光刻的基本原理和工艺方法,对光课中经常出现的质量问题也做出了简要的分析,还介绍了光致抗溶剂的性质和配置方法,本书内容角钱一易躲,可供从事半导体器件生产的工人,革命干部和革命技术人员,以及有关院校,革命师生参考
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作者不详
出版社国防工业出版社
出版时间1972-03
版次1
印刷时间1972-03
印次1
装帧平装
开本32开
上书时间2022-09-21
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