扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术(第2版)
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全新
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作者工业和信息化部电子第五研究所组编
出版社电子工业出版社
ISBN9787121428777
出版时间2022-03
版次2
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数500页
字数648千字
定价188元
货号SC:9787121428777
上书时间2024-12-12
商品详情
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作者简介:
内容简介:
本书从应用的角度出发,介绍了扫描电镜和能谱仪的基本原理及其在实际工作中的一些典型应用。全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1~9章,主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题,以及一些改善图像质量的应对方法和措施,也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项,以供用户在规划和选择安装场地时参考。
下篇包括第10~18章,主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术,其中包括Si(Li)与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理,以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。最后还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。
目录:
上篇扫描电镜的原理与实用分析技术
第1章光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较2
1.1光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念2
1.1.1光学显微镜的发展简史3
1.1.2光学透镜的特性5
1.1.3可见光的衍射6
1.2电子显微镜综述8
1.3国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就11
1.4我国研制、生产电镜历程及发展概况18
1.5几种常见的扫描电镜和小型台式透射和扫描电镜22
1.5.1几种常见的扫描电镜23
1.5.2几种常见的小型台式透射和扫描电镜24
1.6电子的基本参数及其与物质的相互作用26
1.6.1电子的基本参数26
1.6.2电子束的波长27
1.6.3入射电子和试样的相互作用及其产生的信号电子29
参考文献33
第2章扫描电镜的原理和结构34
2.1扫描电镜的原理34
2.1.1镜筒概述34
2.1.2供电系统35
2.2电子枪的束斑和束流37
2.3扫描电镜的放大倍率38
2.4扫描电镜的电子束斑39
2.5镜筒40
2.6电子枪阴极41
2.6.1钨阴极42
2.6.2氧化钇铱阴极46
2.6.3六硼化镧阴极48
2.6.4场发射阴极电子枪53
2.7电磁透镜61
2.8扫描偏转线圈64
2.9样品仓的外形与内部68
2.10真空压力单位77
2.11低真空和环境扫描电镜100
参考文献105
第3章扫
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