多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用
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九五品
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作者王阳元 编著
出版社科学出版社
出版时间2001
版次2
装帧精装
货号C-3-04
上书时间2024-05-17
商品详情
- 品相描述:九五品
图书标准信息
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作者
王阳元 编著
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出版社
科学出版社
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出版时间
2001
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版次
2
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ISBN
9787030080356
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定价
48.00元
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装帧
精装
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开本
21cm
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页数
704页
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正文语种
简体中文
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丛书
微电子学丛书
- 【内容简介】
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本书重点阐述多晶硅薄膜的基本性质及工艺机理,还包括多晶硅薄膜在MOS集成电路和双极集成电路中的应用等内容。
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