氮化物半导体准范德华外延及应用

本书以第三代半导体与二维材料相结合的产业化应用为目标，详细介绍了二维材料上准范德华外延氮化物的理论计算、材料生长、器件制备和应用，内容集学术性与实用性于一体。全书共8章，内容包括二维材料及准范德华外延原理及应用、二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算、二维材料/氮化物准范德华外延成键成核、单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延、非晶衬底上氮化物准范德华外延、准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移、准范德华外延氮化物器件散热以及Ⅲ族二维氮化物。
全书内容新颖，循序渐进，理论性和应用性强，可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。

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第1章二维材料及准范德华外延原理及应用

1.1二维材料及其合成方法

1.1.1典型二维材料的组成及结构

1.1.2二维材料的特性及合成方法

1.2Ⅲ族氮化物异质外延生长及应用

1.2.1Ⅲ族氮化物异质外延生长

1.2.2Ⅲ族氮化物的应用前景

1.3二维材料上准范德华外延氮化物原理及应用

1.3.1二维材料上氮化物准范德华外延生长

1.3.2二维材料上准范德华外延技术应用

小结·

参考文献

第2章二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算

2.1二维材料上氮化物金属原子的吸附与迁移

2.1.1石墨烯上原子的吸附与迁移

2.1.2石墨烯上氮化物半导体金属原子的吸附与迁移

2.2二维材料上化合物界面原子构型

2.2.1二维材料上氮化物界面原子构型

2.2.2 二维材料上其他Ⅲ-V化合物界面原子构型

小结

参考文献

第3章二维材料/氮化物准范德华外延成键成核

3.1氮化物准范德华外延的成核机制

3.2二维材料表面形态对准范德华外延成核的影响

3.3二维材料层数对准范德华外延成核的影响

3.4氮化物准范德华外延成核界面处理方法

3.4.102等离子体处理

3.4.2N2等离子体处理

3.4.3 NHa的原位处理

小结

参考文献

第4章 单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.1二维材料/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.1.1石墨烯/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.1.2 h-BN/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.1.3二硫化物/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.2二维材料/图形衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.3二维材料/SiC衬底上氮化物薄膜准范德华外延

4.3.1二维材料/SiC衬底上GaN薄膜准范德华外延

4.3.2二维材料/SiC衬底上AIN薄膜准范德华外延

小结

参考文献

第5章非晶衬底上氮化物准范德华外延

5.1 SiO2/Si衬底上氮化物准范德华外延

5.2非晶玻璃衬底上氮化物准范德华外延

小结

参考文献

第6章准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移

6.1氮化物柔性剥离和转移的技术路线

6.1.1激光辐射热释放剥离转移薄膜

6.1.2化学蚀刻法剥离转移薄膜

6.1.3准范德华外延氮化物的柔性剥离与转移

6.2柔性器件的优势与应用

6.2.1柔性探测器

6.2.2柔性LED器件

6.2.3柔性HEMT

小结

参考文献

第7章准范德华外延氮化物器件散热

7.1辅助氮化物导热的二维材料

7.1.1氧化石墨烯

7.1.2垂直石墨烯

7.1.3多层h-BN

7.2二维材料/氮化物器件散热

小结

参考文献

第8章 Ⅲ族二维氮化物

8.1二维GaN、AIN的理论研究

8.2二维GaN、AIN的制备

8.2.1二维GaN材料的制备

8.2.2二维AIN材料的制备

8.3二维GaN、AIN的应用

8.3.1制备紫外光源

8.3.2电池的电极材料

8.3.3气体传感器·

小结

参考文献

本书以第三代半导体与二维材料相结合的产业化应用为目标，详细介绍了二维材料上准范德华外延氮化物的理论计算、材料生长、器件制备和应用，内容集学术性与实用性于一体。全书共8章，内容包括二维材料及准范德华外延原理及应用、二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算、二维材料/氮化物准范德华外延成键成核、单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延、非晶衬底上氮化物准范德华外延、准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移、准范德华外延氮化物器件散热以及Ⅲ族二维氮化物。
全书内容新颖，循序渐进，理论性和应用性强，可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。

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全书内容新颖，循序渐进，理论性和应用性强，可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。