原子层沉积制造技术及生物传感应用（无封面）

图书标准信息

• 作者 刘磊
• 出版社 化学工业出版社
• 出版时间 2024-03
• 版次 1
• ISBN 9787122451248
• 定价 158.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 页数 232页
• 字数 233千字

【内容简介】

本书系统介绍了原子层沉积技术及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积（ald）技术的基本、特点、系统和工作模式，聚焦于ald技术的拓展，涉及了ald在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ald技术基本的同时，介绍其在前沿领域的优选和实际应用。
本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参书。

【作者简介】

无

【目录】

1原子层沉积（ald）概述1

1.1原子层沉积技术2

1.2原子层沉积技术的特点7

1.3原子层沉积系统8

1.3.1横向流动式9

1.3.2垂直流动式9

1.3.3径向流动式10

1.4原子层沉积材料10

参文献11

2原子层沉积技术拓展15

2.1多金属源共馈ald16

2.1.1多金属源共馈ald16

2.1.2多金属源共馈ald系统17

2.1.3多金属源共馈ald沉积异质结构18

2.2等离子体增强ald技术19

2.2.1多金属源共馈ald20

2.2.2等离子体增强ald的特点21

2.2.3等离子体增强ald系统24

2.2.4等离子体增强ald沉积材料26

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