集成电路制造技术 : 原理与工艺
￥ 8 2.0折 ￥ 39.8 八五品
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安徽合肥
作者王蔚，田丽，任明远编著
出版社电子工业出版社
ISBN9787121117510
出版时间2010
装帧平装
页数395页
定价39.8元
货号gddq
上书时间2023-03-02
商品详情
- 品相描述：八五品
- 商品描述
- 本书介绍了硅集成电路制造当前普遍采用的工艺技术，全书分5个单元。第1单元介绍硅衬底，主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制及硅片的制造工艺及相关理论；第2-5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺的原理、方法、设各，以及所依托的技术基础及发展趋势。
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