高新科技译丛·微机电系列：微机电系统设计和原型设计指南

图书标准信息

• 作者 [美]乔尔·库比 著；李会丹、袁晓伟、王景中 译
• 出版社 国防工业出版社
• 出版时间 2014-11
• 版次 1
• ISBN 9787118096903
• 定价 69.00元
• 装帧 平装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 134页
• 字数 161千字
• 正文语种 简体中文
• 丛书 高新科技译丛；微机电系列

【内容简介】

　　《高新科技译丛·微机电系列：微机电系统设计和原型设计指南》的目的是通过一个使用顶级计算机辅助设计工具进行布局布线和建模的MEMS设计体验指导学生们，以提供一个健壮的、标准多元晶圆制造工艺的设计。许多这样的工艺都有成熟的设计规则可以分离设计和制造挑战。如果遵循这些规则，学生们能够获得他们所设计的东西。然而标准工艺的使用对可以制造的设备具有一些局限性，因为层数和层厚都是通过标准流程进行设置的，这种方式被成功地用于开发一些商业上成功的MEMS设备，这些设备在《高新科技译丛·微机电系列：微机电系统设计和原型设计指南》中也有描述。

【目录】

第1章引言
1.1MEMS制造概述
1.2共享晶圆工艺
1.2.1多项目晶圆工艺
1.3设计规则
1.4版图
参考文献

第2章微观力学
2.1弹簧
2.1.1并联弹簧
2.1.2串联弹簧
2.2屈曲
2.3泊松比
2.4切向应力和切向应变张量
2.5其他梁
2.6扭转
2.7薄膜
2.8测试结构
2.9阻尼
2.10加速度计
2.10.1悬臂梁
2.10.2碰撞传感器
2.11压力传感器
参考文献

第3章静电驱动
3.1机械回复力
3.2梳状驱动谐振器
3.3悬臂梁谐振器
3.4双端固支梁谐振器
参考文献

第4章光学MEMS
4.1反射悬臂梁光调制器
4.2单轴扭转镜
4.3双轴扭转镜：朗讯路由光电转换器
4.4.Po1yMuMPs工艺中的法布里一珀罗干涉仪
4.5获取平整光学MEMS器件
参考文献

第5章热学MEMS
5.1驱动器
5.2冷臂-热臂式热驱动器
5.3热压电双晶片
5.4辐射热计
5.5热喷墨打印机
5.6热损伤限制热驱动MEMS
参考文献

第6章流体MEMS
6.1运动方程
6.2微流体
6.2.1雷诺数
6.2.2表面张力
6.2.3接触角度
6.2.4毛细上升
6.3喷墨打印
参考文献

第7章封装和测试
7.1发布
7.2测试设备
7.3机械测试
7.4电气测试
7.5光学特性
参考文献

第8章从原型到产品：MEMS——自适应光学可变形反射镜
参考文献
微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南