MEMS法珀腔光学声传感器/工业信息化技术丛书

图书标准信息

• 作者 郑永秋
• 出版社 电子工业出版社
• 出版时间 2023-11
• 版次 1
• ISBN 9787121466953
• 定价 98.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 页数 211页
• 字数 220千字

【内容简介】

MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

本书在注重机理分析的同时，将理论与实践相结合，具有较强的系统性、理论性和实用性，对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值，也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书。

【作者简介】

郑永秋（1986.07-），博士，中北大学副教授，硕士生导师。山西省"三晋英才”青年优秀人才，山西省优秀青年基金获得者，山西省光学学会理事，中北大学"太行学者”、青年学术带头人，《红外与激光工程》青年编委，国家自然科学基金评审专家。主要从事MEMS光学传感器件及测试仪器研究，主持有国家自然科学基金重点项目、国家自然科学基金青年基金，国家重点研发计划课题，国防科技173计划重点基金，军委装备发展部领域基金、山西省优秀青年基金等国家和省部级项目，作为分承研单位负责人，承担有国防科工局基础科研项目1项。围绕高Q微腔的传感检测及系统集成，开发了高速信号的调制解调技术、微腔谐振频率的快速跟踪和锁定技术，实现了检测设备仪器到数字一体化的集成，为高Q微腔的系统集成奠定了基础，相关研究成果发表在《Opt Express》、《Chin Opt Lett.》、《IEEE SENSORS JOURNAL》、《Optics and Laser Technology》、《红外与激光工程》等刊物上。

【目录】

第1章概述

1.1引言/1

1.2光学声传感器的发展现状/5

1.2.1间接耦合型光学声传感器/6

1.2.2直接耦合型光学声传感器/25

1.3光学声传感器的MEMS制备工艺/31

1.3.1微结构光纤光栅的MEMS制备工艺/31

1.3.2光纤干涉仪的MEMS制备工艺/34

1.3.3微谐振腔的MEMS制备工艺/45

1.4光学声传感器的发展趋势/50

第2章MEMS法珀腔光学声传感机理

2.1声信号传播基本特性/53

2.1.1声波的物理特性/54

2.1.2声波探测的重要评价指标/56

2.2MEMS法珀腔声传感机理/58

2.2.1声压致空气折射率改变理论分析/58

2.2.2法珀腔原理和特征参数/60

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