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作者王姝娅,戴丽萍
出版社科学出版社
出版时间2020-03
装帧平装
货号9787030444943
上书时间2024-01-23
基本信息
书名:微电子制造技术实验教程
定价:29.00 元
作者:王姝娅,戴丽萍 等
出版社:科学出版社
出版日期:2020年03月 
ISBN:9787030444943
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[chatu]
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内容提要
本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验,同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力,注重实验的操作
目录
作者介绍
文摘
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