薄膜材料与薄膜技术(二版)
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北京丰台
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作者郑伟涛
出版社机械工业出版社
出版时间2017
印刷时间2017
装帧其他
纸张其他
上书时间2022-09-21
商品详情
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章 真空技术基础
节 真空的基本知识
一、表示真空程度的单位
二、真空区域的划分
三、固体对气体的吸附及气体的脱附
节 真空的获得
一、旋片式机械真空泵
二、复合分子泵
三、低温泵
第三节 真空的测量
一、电阻真空计
二、热偶真空计
三、电离真空计
参考文献
章 薄膜制备的化学方法
节 热氧化生长
节 化学气相沉积
一、一般化学气相沉积反应
二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法
三、激光化学气相沉积
四、光化学气相沉积
五、等离子体增强化学气相沉积
第三节 电镀
第四节 化学镀
第五节 阳极反应沉积
第六节 LB技术
参考文献
第三章 薄膜制备的物理方法
节 真空蒸发
一、真空蒸发沉积的物理原理
二、真空蒸发技术
节 溅射
一、溅射的基本原理
二、溅射镀膜的特点
三、溅射参数
四、溅射装置
第三节 离子束和离子助
一、离子镀
二、阴极电弧等离子体沉积
三、热空阴极枪蒸发
四、离子轰击共沉积
五、平衡磁控离子助沉积
六、离子束沉积
第四节 外延生长
一、分子束外延（MBE）
二、液相外延生长（LPE）
三、热壁外延生长（HWE）
四、有机金属化学气相沉积（MOCVD）
参考文献
第四章 薄膜的形成与生长
节 形核
一、凝聚过程
二、LangmuIR-Frenkel凝聚理论
三、成核理论
四、实验结果
节 生长过程
一、一般描述
二、类液体合并
三、沉积参数的影响
第三节 薄膜的生长模式
第四节 远离平衡态薄膜生长
一、粗糙表面的结构和生长
二、简单模型
三、薄膜生长模型的实验研究
参考文献
第五章 薄膜表征
节 薄膜厚度控制及测量
一、沉积率和厚度监测仪
……
第六章 薄膜材料
参考文献
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