光刻胶材料评测技术——从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶 (日)关口淳著方书农译新华文轩网络书店正版图书

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江苏无锡

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作者(日)关口淳

出版社化学工业出版社

ISBN9787122438003

出版时间2024-04

版次1

装帧精装

开本16开

页数272页

字数312千字

定价198元

货号1203370953

上书时间2024-09-14

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商品描述: 光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件中都有重要的应用。本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术，以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术，希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。

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