• 纳米级CMOS VLSI电路:可制造性设计:design for manufacturability

纳米级CMOS VLSI电路:可制造性设计:design for manufacturability

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北京朝阳

作者(美)桑迪普·昆杜(Sandip Kundu),(美)阿斯温·斯雷德哈(Aswin Sreedhar)著

出版社机械工业出版社

ISBN9787111782704

出版时间2025-06

版次1

装帧平装

开本16开

定价79元

货号R_18223992

上书时间2026-01-26

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商品描述
本书是可制造性设计的详细指南,提供了过验证的、优化电路设计的方法,以提高产品的良率、可靠性和可制造性,并减少缺陷和故障。本书首先介绍了CMOS VLSI设计的趋势,并简要介绍了可制造性设计和可靠性设计的基本概念;其次介绍了半导造的各种工艺步骤,并探讨了工艺与器件偏差以及分辨率技术;然后深入研究了半导造过程中的各种制造缺陷及其对电路的影响,并讨论了可靠性问题的物理机制及其影响;后探讨了在电路实现过程中不同阶段采用DFM和DFR方法所带来的变化。本书不仅适合从事半导体设计的工程师和研究人员阅读,还可以作为相关专业本科生和研究生的参考教材。

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