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正版现货新书微纳制造与微机电系统 9787030793584 李经民,刘冲,王立鼎编

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作者李经民,刘冲,王立鼎编

出版社科学出版社

ISBN9787030793584

出版时间2024-08

装帧平装

开本16开

定价82元

货号1203365093

上书时间2024-12-20

黎明书店

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商品详情

品相描述：全新

商品描述: 目录
前言

第1章微机电系统概述 1

1.1 微机电系统定义 1

1.2 微机电系统主要特点 1

1.3 微机电系统制造技术 3

1.4 微机电系统发展历程与未来发展趋势 4

1.4.1 发展历程 4

1.4.2 未来发展趋势 6

1.5本书的主要结构与内容 7

复习思考题 8

参考文献 8

第2章体硅微加工技术 10

2.1 硅的分类 10

2.2 单晶硅 10

2.3 单晶硅的制备 12

2.3.1 直拉法 13

2.3.2 区熔法 14

2.3.3 直拉法和区熔法比较 15

2.4 晶圆片的制备 15

2.5 晶圆片预处理 16

2.5.1 清洗 16

……

内容摘要

本书体系严密，深入浅出，将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合，使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用；第5章介绍LIGA/准LIGA技术；第6章介绍MEMS微传感器；第7章介绍MEMS微执行器；第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。

本书可作为高等院校机械工程、仪器科学与技术、电子科学与技术、物理学等专业本科生和研究生的学习用书，也可作为从事微纳制造和微机电系统研制相关工作科研人员的参考用书。