正版现货新书微纳加工技术与应用案例 9787576347272 谢会开,许冰,尹红星

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北京丰台

作者谢会开,许冰,尹红星

出版社北京理工大学出版社有限责任公司

ISBN9787576347272

出版时间2025-01

装帧平装

开本16开

定价68元

货号18080412

上书时间2026-07-16

商品描述: 目录
本书内容覆盖微纳加工技术与应用综述, 紫外曝光技术、电子東曝光技术、反应离子刻蚀技术、电子封装技术等微纳加工技术, 以及扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征技术。

内容摘要
本书是在北京理工大学"微纳加工技术与应用"研究生创新课程的课件基础上总结凝练而成。作者在撰写的过程中注重理论与实践的结合，内容覆盖微纳加工技术与应用综述，紫外曝光技术、电子束曝光技术、反应离子刻蚀技术、电子封装技术等微纳加工技术，以及扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征技术。本书既注重基础知识又兼顾微纳米加工技术的典型应用，重点结合了机械与车辆学院、光电学院、机电学院、物理学院、材料学院、集成电路与电子学院等多个学院处在科研一线老师提供的11个应用案例。本书可以为高等院校初步涉足这一领域的本科生、研究生，或是具有一定工作经验的专业技术人员及科技工作者提供参考。

精彩内容
本书内容覆盖了微纳加工工艺原理与操作、表征与测试方法以及应用创新案例。本书第一篇是微纳加工技术与应用综述；第二篇介绍微纳加工关键工艺；第三篇是微纳技术创新案例，详细介绍了集成电路、光电、机械、材料等学科领域的十一个基于微纳加工技术的前沿课题。

正版现货新书 微纳加工技术与应用案例 9787576347272 谢会开,许冰,尹红星