微系统设计与制造（第二版）

图书标准信息

• 作者 王喆垚 著
• 出版社 清华大学出版社
• 出版时间 2015-09
• 版次 2
• ISBN 9787302391678
• 定价 98.00元
• 装帧 平装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 742页
• 字数 1180千字
• 丛书 信息、控制与系统技术丛书

【内容简介】

　　《微系统设计与制造（第二版）》结合微系统(MEMS)技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括： 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法，以及重点和前沿应用研究领域的发展。本书可供高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供相关领域的工程技术人员参考。

【作者简介】

王喆垚，男，1995年和2000年分别获得清华大学机械工程专业学士学位和机械电子学专业工学博士学位。2000－2002年在清华大学微电子学研究所从事博士后研究，2002年－2003年在荷兰Delft科技大学（Delft University of Technology）微电子与亚微米技术研究所从事博士后研究。2003年底回国工作。2003年底任副教授，2008年底晋升为教授。授权中国发明专利10项，公开专利6项，获得北京市科技进步二等奖1项（5/9），清华大学科技成果推广三等奖1项（5/5）。2005年入选北京市“科技新星计划”，入选2005年教育部“新世纪优秀人才支持计划”。中国仪器仪表学会传感器分会理事，IEEE高级会员，中国微米纳米学会高级会员。2011-2013年 China Semiconductor Technology International Conference 委员会委员，2012年The Sixth Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies技术委员会委员，2011年IEEE Electrical Design of Advanced Packaging & Systems (EDAPS)技术委员会委员，IEEE Sensors Conference 2008-2013技术委员会委员，2005年第6届East Asian Conference on Chemical Sensors (EACCS-6)组织委员会委员。发表国际期刊论文55篇，编制“仪器制造技术”（章节，机械工业出版社）和“微系统设计与制造”（清华大学出版社）。

【目录】

第1章微系统概述
1.1微系统的概念
1.2微系统的特点
1.3MEMS的实现
1.4微系统的历史、发展与产业状况
参考文献
本章习题
第2章力学基础
2.1材料的基本常数
2.2弹性梁
2.3薄板结构
2.4流体力学
参考文献
本章习题
第3章微系统制造技术
3.1MEMS常用材料及光刻技术
3.2体微加工技术
3.3表面微加工技术
3.4键合
3.5高深宽比结构与工艺集成
3.6MEMS与CMOS的集成技术
3.7MEMS封装技术
参考文献
本章习题
第4章微型传感器
4.1微型传感器的敏感机理
4.2压力传感器
4.3麦克风
4.4加速度传感器
4.5微机械陀螺
4.6微型悬臂梁传感器
4.7传感器噪声
参考文献
本章习题
第5章微型执行器
5.1静电执行器
5.2压电执行器
5.3磁执行器
5.4电热执行器
5.5微泵
参考文献
本章习题
第6章射频MEMS
6.1RF MEMS概述
6.2MEMS开关
6.3微机械谐振器
6.4基于谐振器的信号处理器
6.5可调电容、电感与压控振荡器
参考文献
本章习题
第7章光学MEMS
7.1MEMS微镜
7.2光通信器件
7.3显示器件
7.4其他光学MEMS器件
参考文献
第8章生物医学MEMS
8.1药物释放
8.2生物医学传感器
8.3执行器
8.4神经微电极与探针
8.5组织工程
8.6细胞与分子操作
参考文献
第9章微流体与芯片实验室
9.1概述
9.2软光刻技术
9.3微流体的驱动与输运
9.4LOC与微流体的基本操作
9.5检测技术
9.6LOC的应用
参考文献