匠“芯”独运
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作者俞少峰 ... [等] 编著
出版社上海科学普及出版社
ISBN9787542782748
出版时间2022-10
装帧平装
开本其他
定价60元
货号4194774
上书时间2024-12-20
商品详情
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作者简介
俞少峰，复旦大学教授，国家特聘专家。1985年北京大学学士、1988年美国马里兰大学硕士、1991年美国杜克大学博士。毕业后，在美国英特尔公司、德州仪器公司任职共20余年，长期从事集成电路制造工艺技术研发工作。有从0.6微米到28纳米十余代主流逻辑工艺技术平台的开发经验。2011年回国入职中芯国际，任技术研发副总裁，兼任中芯国际新技术研发公司总经理，领导开发中国**的14纳米量产工艺技术平台。2019年加盟复旦大学从事微电子技术的教育和研究，主攻未来集成电路关键共性技术的探索和研发。
目录
本书主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环, 承上继下, 起着极为重要的作用, 同时也面临各种挑战。
内容摘要
本书稿主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环，承上继下，起着极为重要的作用，同时也面临各种挑战。本册对集成电路制造产业链各个环节的工作内容做了简明扼要的介绍，由复旦大学微电子学院的几位教授共同编著而成，包括了芯片介绍、芯片制造工艺整合制程、光刻工艺技术、材料刻蚀技术、薄膜制备技术、化学机械抛光技术、掺杂工艺技术和封装工艺技术。一方面以青少年喜闻乐见的类比方式普及集成电路制造的基础知识，另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。
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