微机电系统基础
￥ 71.87 4.3折 ￥ 169 九五品
仅1件
作者[美]盖德
出版社机械工业出版社
ISBN9787111557333
出版时间2017-01
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数394页
字数99999千字
定价169元
上书时间2024-07-18
商品详情
- 品相描述：九五品
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基本信息
书名:微机电系统基础
定价：169.00元
作者:[美]盖德
出版社：机械工业出版社
出版日期：2017-01-01
ISBN：9787111557333
字数：624000
页码：394
版次：1
装帧：平装
开本：16开
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内容提要
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。本书可供MEMS技术人员和设计人员使用，也可供MEMS专业的高年级本科生和研究生参考。
目录
译丛序译者序前言主编撰稿人章绪论1参考文献4第2章微机械器件的尺度62.1简介62.2对数坐标图72.3机械系统的尺度8参考文献13第3章MEMS常用材料的力学性能143.1简介143.2力学性能的定义153.3测试方法173.4力学性能参数273.5初始设计值34致谢35参考文献35第4章流体物理学444.1简介444.2流体物理学454.3流体建模464.4纳维-斯托克斯方程494.5可压缩性514.6边界条件544.7基于分子的模型594.8液态流体644.9表面现象694.10结束语72参考文献73第5章MEMS综合仿真：流动-结构-热场-电场耦合775.1简介785.2电路-器件耦合仿真825.3模拟器概述835.4电路-微流体器件仿真895.5集成模拟方法示范935.6小结与讨论95致谢95参考文献95第6章基于分子的微流体仿真模型996.1简介996.2气体流动1006.3液体和稠密气体的流动1166.4小结118参考文献119第7章小尺度内部气流的流体动力学1247.1简介1247.2流动物理学1257.3模拟方法的发展1387.4讨论143致谢143参考文献144第8章微器件流体的伯内特模拟1488.1简介1488.2伯内特方程的历史1518.3控制方程1538.4壁-边界条件1578.5伯内特方程的线性化稳定性分析1578.6数值方法1598.7数值模拟1598.8小结169参考文献169第9章微通道中滑移流动的晶格玻尔兹曼模拟1739.1简介1739.2三维可压缩黏性MHD方程1749.3LBGK方程和MHD方程的平衡粒子分布函数f0i 1759.4LBGK方程和磁感应方程的平衡粒子分布函数g(0)i1759.5粒子分布函数的耦合LBGK方程解1769.6有/无磁场的微通道压力驱动滑移流体1769.7小结180致谢180参考文献1800章微通道中的液体流动18210.1简介18310.2电动学背景知识19710.3小结213参考文献2141章MEMS的润滑22311.1简介22411.2基本尺度问题22411.3润滑的控制方程22611.4库爱特流阻尼22711.5挤压薄膜阻尼22811.6转动器件的润滑23011.7MEMS轴承几何形状的限制23111.8推力轴承23211.9滑动轴承23411.10制造问题23911.11摩擦和磨损24111.12小结242致谢242参考文献2432章液体薄膜物理学24512.1简介24512.2固体表面液态膜的演化方程25212.3等温薄膜25612.4热效应26912.5相变：汽化和凝结27512.6结束语281致谢282参考文献2823章微通道中气泡/液滴的输运28913.1简介28913.2基础29013.3压力驱动气泡/液滴输运的布雷瑟顿问题29113.4电动流气泡输运29513.5未来方向297致谢298参考文献2984章控制理论基础30014.1简介30014.2经典线性控制30114.3“现代”控制31114.4非线性控制31614.5结束语322参考文献3225章基于模型的分布式架构流动控制32515.1简介32615.2线性化：小街区的生活32715.3线性稳定：向现代线性控制理论借力32915.4分散：大规模列阵设计33615.5局域化：非物理假设释放33815.6补偿器缩减：消除不必要的复杂性34015.7推论：非线性系统的线性控制34215.8泛化：扩展到空间发展流动34415.9非线性优化：完全纳维-斯托克斯方程的局域解34615.10鲁棒性：Murphy定律的吸引力35315.11统一：合成通用框架35415.12分解：基于仿真的系统建模35515.13全局稳定：守恒增强稳定性35515.14适用：考虑不断变化的环境35615.15性能限制：确定理想控制目标35715.16实施：评估工程化折中35715.17讨论：对话的共同语言35815.18未来：文艺复兴359致谢361参考文献3616章控制中的软计算36416.1简介36416.2人工神经网络36516.3遗传算法37316.4模糊逻辑与模糊控制37716.5小结386致谢386参考文献386附录391附录一国际单位制词头（SI词头）391附录二本书缩略语391
作者介绍
序言
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