• 高端光刻机像质检测技术(下册)
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高端光刻机像质检测技术(下册)

169.05 7.4折 228 九五品

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河北廊坊
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作者王向朝

出版社科学出版社

出版时间2021-04

版次31

印数1千册

装帧其他

上书时间2024-06-26

海棠醉日

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   商品详情   

品相描述:九五品
图书标准信息
  • 作者 王向朝
  • 出版社 科学出版社
  • 出版时间 2021-04
  • 版次 31
  • ISBN 9787030673558
  • 定价 228.00元
  • 装帧 其他
  • 开本 16开
  • 纸张 胶版纸
  • 页数 500页
  • 字数 713千字
【内容简介】
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
【目录】


作者介绍

序言
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