【二手正版】 微电子与集成电路设计导论 方玉明 9787121386503 电子工业出版社
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作者方玉明
出版社电子工业出版社
ISBN9787121386503
出版时间2020-03
装帧平装
开本16开
定价45元
货号9787121386503
上书时间2024-12-24
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作者简介
方玉明，女，南京邮电大学教授，中国通信学会会员，长期从事微电子与集成电路领域教学和科研工作，承担了多项重量和省部级教研和科研项目。
目录
章概论 1
1.1微电子学的概念 1
1.2微电子学的战略地位 3
1.3微电子学的发展历史 7
1.3.1晶体管的发展历史 7
1.3.2集成电路的发展历史 9
1.4集成电路的分类 12
1.5微电子产业的发展现状 15
1.6微电子技术的发展 20
1.7本章小结 26
思考题 27
第2章半导体物理基础 28
2.1半导体材料及其基本性质 28
2.2硅的晶格结构 29
2.3硅晶体中的缺陷 32
2.4半导体中的能带理论 34
2.5半导体的掺杂 36
2.6费米分布函数 39
2.7载流子的输运 40
2.7.1半导体中的载流子 40
2.7.2半导体中的载流子浓度 40
2.7.3载流子的输运机制 42
2.8连续性方程 44
2.9本章小结 45
2.10扩展阅读内容 45
2.10.1载流子的漂移运动与迁移率的推导 45
2.10.2载流子扩散运动的推导 46
思考题 47
第3章半导体器件物理基础 48
3.1PN结 48
3.1.1平衡PN结 49
3.1.2PN结能带 50
3.1.3正向偏置的PN结 51
3.1.4反向偏置的PN结 52
3.1.5PN结的伏安特性 53
3.1.6PN结电容 54
3.1.7PN结击穿 55
3.1.8PN结的应用 58
3.2双极型晶体管 60
3.2.1晶体管的结构及类型 61
3.2.2晶体管的电流放大原理 62
3.2.3晶体管中载流子浓度分布 63
3.2.4晶体管的伏安特性曲线 65
3.2.5晶体管的频率特性 69
3.2.6晶体管的大电流特性 71
3.3MOSFET 76
3.3.1N沟道增强型MOSFET的器件结构 76
3.3.2N沟道增强型MOSFET的能带图 77
3.3.3阈值电压 79
3.3.4工作原理 81
3.3.5特性曲线 82
3.3.6N沟道耗尽型MOSFET 83
3.3.7P沟道MOSFET及不同类型MOSFET特性比较 84
3.3.8MOS功率场效应晶体管 85
3.4JFET 86
3.4.1JFET的基本结构 86
3.4.2JFET的工作原理 87
3.4.3JFET的输出特性曲线 88
3.5MESFET的基本结构和工作原理 89
3.6本章小结 89
3.7扩展阅读内容 90
思考题 91
第4章半导体集成电路制造工艺 93
4.1单晶生长及衬底制备 93
4.1.1单晶生长 93
4.1.2衬底制备 95
4.2光刻 96
4.3刻蚀 101
4.4掺杂技术 103
4.4.1扩散 103
4.4.2离子注入 106
4.5制膜技术 108
4.5.1氧化 109
4.5.2化学气相淀积 115
4.5.3物理气相淀积 122
4.6接触与互连 124
4.7隔离技术 125
4.8封装技术 126
4.9主要器件和工艺流程示例 127
4.9.1PN结 127
4.9.2晶体管的制造工艺 128
4.9.3双极型集成电路的工艺流程 129
4.9.4MOS集成电路的工艺流程 132
4.10本章小结 134
思考题 134
第5章集成电路基础 136
5.1集成电路概述 136
5.1.1集成电路的性能指标 136
5.1.2集成电路的组成要素 137
5.1.3集成电路的分类 138
5.1.4集成电路的发展 138
5.2数字集成电路 139
5.2.1数字逻辑简介 139
5.2.2CMOS反相器性能指标 141
5.2.3CMOS逻辑门电路 148
5.2.4CMOS集成电路的特点 154
5.3双极型和BiCMOS集成电路 155
5.3.1双极型集成电路 155
5.3.2BiCMOS集成电路 156
5.4模拟集成电路 157
5.4.1放大器的性能指标 157
5.4.23种组态放大器 159
5.4.3差分放大器 165
5.4.4基准电压源 167
5.4.5基准电流源 168
5.4.6运算放大电路 168
5.5集成电路版图 170
5.5.1版图设计规则 170
5.5.2布图规则及布局布线技术 172
5.5.3数字电路版图设计 174
5.5.4模拟电路版图设计 175
5.6集成电路设计工具介绍 176
5.6.1概述 176
5.6.2Cadence工具介绍 176
5.6.3ADS工具介绍 177
5.6.4Aether工具介绍 179
5.7大规模集成电路基础 180
5.7.1按比例缩小的基本理论――CE理论 181
5.7.2按比例缩小的CV理论 182
5.7.3按比例缩小的QCV理论 183
5.8集成电路设计方法学 183
5.9本章小结 184
思考题 185
第6章新型微电子技术 187
6.1SoC技术 187
6.1.1SoC技术现状及其分类 187
6.1.2SoC发展中的焦点技术 188
6.1.3SoPC 190
6.2微机电系统（MEMS）技术 191
6.2.1微机电系统的特点 191
6.2.2微机电系统的分类 192
6.2.3微机电系统的工艺材料 193
6.2.4微机电系统的应用领域 194
6.3生物芯片技术 195
6.3.1生物芯片发展历史 195
6.3.2生物芯片分类 196
6.3.3生物芯片的应用前景 196
6.4纳电子技术 196
6.4.1纳电子器件 197
6.4.2纳电子材料 199
6.5纳米相关技术 200
6.6本章小结 203
思考题 204
参考文献 205
内容摘要
本书是“十三五”江苏省高等学校重点教材。内容从通俗性和实用性出发，全面介绍微电子科学与工程专业所需学习的各项基本理论和知识。全书共6章，主要包括：微电子学基础（概论）、半导体物理基础、半导体器件物理基础、半导体集成电路制造工艺、集成电路基础、新型微电子技术。并配套电子课件、习题参考答案等。本书可作为高等学校微电子科学与工程专业“微电子导论”课程的基础教材，也可供相关领域的工程技术人员学习和参考。
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