实用真空技术

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江西南昌

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作者郭方准

出版社大连理工大学出版社

ISBN9787561170359

出版时间2010-01

装帧平装

开本其他

定价50元

货号9787561170359

上书时间2024-11-06

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商品描述: 目录
第1章真空知识概论1
11什么是真空1
12真空的发现和理论基础4
13几个重要的概念8
14真空技术的应用13
第2章真空密封15
21永久密封15
22非永久密封18
23真空法兰23
24真空导人要素30
25波纹管34
第3章影响真空度的要素36
31真空检漏36
32真空中的材料气体放出44
33真空材料的表面净化和抛光47
34真空系统的排气计箅50
第4章真空系统57
41真空系统的构成57
42真空腔体65
43真空泵70
44真空计84
45真空阀门94
46各种运动导人器101
47配管连接元件115
第5章典型的薄膜生长方式118
51物理方式成膜（PhysicalVaporDeposition:PVD)118
52化学方式成膜（ChemicalVaporDeposition:CVD)125
附录129
参考文献142

内容摘要
真空技术和物理学的进步紧密相关，目前已经是表面科学、半导体应用、高能粒子加速器、核聚变研究装置和宇宙开发领域不可缺少的技术。当前人类面临的四大课题：环境、能源、生命和新材料，这些课题的解决，无一例外都需要真空技术。

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