制冷红外焦平面探测器技术
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作者编者:黄立|责编:许存权
出版社电子工业
ISBN9787121453236
出版时间2023-03
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定价89元
货号1202874256
上书时间2024-06-02
商品详情
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作者简介
2004.07-至今，武汉高德红外股份有限公司，董事长1999.01-2004.06，武汉市高德电气有限公司，总经理1996.11-1998.12，武汉中兴电器有限公司，总经理1993.05-1996.10，湖北省电力试验研究所电力应用技术开发公司，经理1987.07-1993.04，湖北省电力试验研究所，电子技术工程师
目录
目录
第1章 绪论1
1.1 制冷红外焦平面阵列探测器概述1
1.1.1 红外概述1
1.1.2 制冷红外焦平面探测器的工作原理3
1.2 制冷红外焦平面探测器结构5
1.2.1 探测器组成5
1.2.2 探测器各部分功能6
1.2.3 探测器的工艺流程9
1.3 制冷红外焦平面探测器发展趋势10
参考文献17
第2章 制冷红外焦平面探测器材料技术21
2.1 碲镉汞红外敏感材料21
2.1.1 碲镉汞材料技术发展历程21
2.1.2 碲镉汞基本物理特性24
2.1.3 碲镉汞材料类型27
2.1.4 碲镉汞材料生长28
2.1.5 碲锌镉衬底材料37
2.2 超晶格红外敏感材料44
2.2.1 超晶格技术发展历程44
2.2.2 超晶格原理与特点47
2.2.3 超晶格材料设计48
2.2.4 超晶格材料生长51
2.2.5 锑化镓衬底材料58
参考文献63
第3章 制冷红外焦平面探测器芯片技术71
3.1 红外焦平面芯片概述71
3.1.1 发展历程71
3.1.2 结构与原理73
3.2 红外焦平面芯片设计74
3.2.1 红外焦平面阵列性能74
3.2.2 读出电路设计82
3.3 红外焦平面阵列制备技术85
3.3.1 碲镉汞焦平面阵列制备技术86
3.3.2 超晶格焦平面阵列制备技术93
3.4 红外焦平面芯片集成技术102
3.4.1 倒装焊互连技术102
3.4.2 底部填充技术109
参考文献114
第4章 制冷红外探测器封装技术118
4.1 杜瓦封装概述118
4.1.1 杜瓦封装的功能118
4.1.2 杜瓦封装的发展趋势119
4.2 制冷红外焦平面探测器封装设计120
4.2.1 结构设计120
4.2.2 参数计算123
4.3 封装工艺125
4.3.1 密封焊接工艺125
4.3.2 粘接工艺129
4.3.3 引线键合工艺130
4.3.4 检漏工艺131
4.3.5 除气及超高真空排气工艺131
4.4 杜瓦可靠性评价132
参考文献134
第5章 制冷红外焦平面探测器用制冷技术136
5.1 红外探测器用制冷机（器）分类136
5.2 旋转斯特林制冷机137
5.2.1 旋转斯特林制冷机设计137
5.2.2 旋转斯特林制冷机制造流程及关键工艺144
5.2.3 旋转斯特林制冷机可靠性设计145
5.3 线性斯特林制冷机147
5.3.1 线性斯特林制冷机设计148
5.3.2 线性斯特林制冷机制造工艺154
5.3.3 线性斯特林制冷机可靠性设计156
5.4 节流制冷器159
5.4.1 节流制冷原理160
5.4.2 微型节流制冷器设计162
5.4.3 节流制冷器制造工艺169
5.4.4 节流制冷器可靠性设计及验证170
参考文献170
第6章 制冷红外焦平面探测器检测技术172
6.1 制冷红外焦平面探测器关键参数及其测试方法172
6.1.1 关键参数172
6.1.2 关键参数测试方法173
6.2 制冷红外焦平面探测器参数测试系统176
6.2.1 测试系统总体结构176
6.2.2 测试系统硬件组成177
6.2.3 测试系统软件组成179
6.3 典型制冷红外焦平面探测器测试结果181
参考文献184
第7章 制冷红外焦平面探测器应用185
7.1 红外观瞄器件185
7.2 红外光电系统186
7.3 卫星侦察189
7.4 气体检测190
7.5 飞行视觉增强191
7.6 智能监控192
7.7 火灾告警193
参考文献194
内容摘要
本书内容主要基于红外焦平面阵列探测器领域取得的成果，并系统介绍了红外焦平面阵列探测器的设计理论及制造过程。本书分别介绍了非制冷型和制冷型两大类红外焦平面阵列探测器，主要具体内容为：碲镉汞和超晶格等热敏材料制备；金属、陶瓷、晶圆和像素级四类封装工艺；线性、旋转式等多种斯科特式制冷技术与器件；涉及各类核心器件性能的高精度检测技术；红外焦平面阵列探测器全生命生产周期管理；各类红外焦平面阵列探测器应用技术。
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