热丝化学气相沉积技术
全新正版 极速发货
￥ 131.18 6.6折 ￥ 198 全新
库存14件
广东广州
认证卖家担保交易快速发货售后保障
作者(日)松村英树 等 著 黄海宾 等 译
出版社化学工业出版社
ISBN9787122456632
出版时间2024-07
装帧精装
开本16开
定价198元
货号1203364645
上书时间2024-11-24
商品详情
- 品相描述：全新
- 商品描述
-
作者简介
松村英树（Hideki Matsumura），博士，日本北陆先端科学技术大学院大学（JAIST）材料科学学院荣誉教授。梅本弘宣（Hironobu Umemoto），博士，日本静冈大学工程学院化学与生物工程专业教授。卡伦·格利森（Karen K.Gleason），博士，美国麻省理工学院Alexander和I. Michael Kasser化学工程教授，副教务长。吕德·施罗普（Ruud E.I.Schropp），博士，荷兰埃因霍芬理工大学Solliance太阳能研究所高级研究员。黄海宾，江西汉可泛半导体技术有限公司董事长，国内知名异质结太阳电池专家，主要研究方向为太阳电池器件结构设计、模拟分析及产业化制备技术与装备，半导体薄膜制备技术与装备。沈鸿烈，南京航空航天大学教授，亚太材料科学院院士。主要从事光伏及半导体功能材料方面的研究。Hironobu Umemoto，博士，日本北陆先端科学技术大学院大学材料学院名誉教授。Hironobu Umemot， 博士，静冈大学工程学院化学与生物工程系教授博士，静冈大学工程学院化学与生物工程系教授。Karen K. Gleason ，博士，美国麻省理工学院副教务长。Ruud E. I. Schropp ，博士，荷兰埃因霍温 Solliance 太阳能研究公司研究员。黄海宾，江西汉可泛半导体技术有限公司，董事长。南昌大学，教授沈鸿烈，南京航空航天大学，教授。
目录
第1章引言
1.1薄膜技术
1.2 Cat-CVD的诞生
1.3 Cat-CVD及相关技术的研究历史
1.4本书的结构
参考文献
第2章Cat-CVD的物理基础及其与PECVD的区别
2.1沉积腔室中的物理基础
2.1.1分子密度及其热速率
2.1.2平均自由程
2.1.3固体表面的碰撞
2.1.4腔室中基团的停留时间
2.2Cat-CVD和PECVD设备的差异
2.3 PECVD的基本特征
2.3.1 PECVD的诞生
……
内容摘要
催化化学气相沉积(Cat-CVD)又名热丝化学气相沉积，可以在衬底温度低于300℃条件下获得器件级的高质量薄膜。本书系统介绍了Cat-CVD技术，包括其基本原理、设备设计及应用。具体包括Cat-CVD的物理基础及其与等离子增强化学气相沉积的区别、Cat-CVD 中化学反应的分析方法及基本原理、Cat-CVD 的物理化学基础、Cat-CVD制备的无机薄膜性能、引发化学气相沉积(iCVD)合成有机聚合物、Cat-CVD设备运行中的物理基础与技术、Cat-CVD 在太阳电池和各种半导体器件中的应用、Cat-CVD系统中的活性基团及其应用，最后介绍了利用Cat-CVD 腔室中产生的活性基团，在低温下进行半导体掺杂。
本书可供薄膜制备相关研发和技术人员参考使用，主要涉及半导体及薄膜太阳电池等领域。
主编推荐
1.原著作者为本领域权威Hironobu Umemoto教授。2.全面介绍催化（热丝）化学气相沉积内容基础理论、设备设计及在太阳电池、半导体领域的应用。
相关推荐
— 没有更多了 —
以下为对购买帮助不大的评价