原子层沉积制造技术及生物传感应用

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作者刘磊

出版社化学工业出版社

ISBN9787122451248

出版时间2024-03

装帧精装

开本16开

定价158元

货号1203247070

上书时间2024-11-22

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目录
1原子层沉积（ALD）概述1

1.1原子层沉积技术原理2

1.2原子层沉积技术的特点7

1.3原子层沉积系统8

1.3.1横向流动式9

1.3.2垂直流动式9

1.3.3径向流动式10

1.4原子层沉积材料10

参考文献11

2原子层沉积技术拓展15

2.1多金属源共馈ALD16

2.1.1多金属源共馈ALD原理16

2.1.2多金属源共馈ALD系统17

2.1.3多金属源共馈ALD沉积异质结构18

2.2等离子体增强ALD技术19

2.2.1多金属源共馈ALD原理20

2.2.2等离子体增强ALD的特点21

2.2.3等离子体增强ALD系统24

2.2.4等离子体增强ALD沉积材料26

……

内容摘要
本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积（ALD）技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的优选性和实际应用。

本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参考书。

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