折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
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作者张新宇，谢长生
出版社国防工业
ISBN9787118122848
出版时间2021-10
装帧精装
开本其他
定价169元
货号31314504
上书时间2024-06-11
商品详情
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作者简介
张新宇，华中科技大学教授，博士生导师，主要从事微光学理论和器件、光学探测以及微制作技术方面的研究工作，多年来发表论文100余篇，获批专利50余项，出版著作1部，承担多项国防科研项目。 谢长生，武汉光电国家实验室教授，博士生导师，主要从事光电技术与光存储方面的研究工作，发表论文100余篇，获得国家发明专利20余项。
目录
第一章衍射光束变换的基础理论与基本方法 61.1衍射图像生成 61.2衍射微光学结构 101.3设计实例 16第二章衍射微光学图像发射结构 202.1单步光刻与硅基湿法腐蚀 202.2图像发射效能评估 252.3结语 28第三章折射微光学波前结构 293.1问题与挑战 293.2折射微光学波前结构的工艺制作 303.3光学性能测试与评估 353.4结语 36第四章相干激光波束的衍射整形、变换与空间频谱分离 384.2近场与远场衍射 414.2.1近场近似 414.2.2远场近似 424.3衍射结构设计算法434.4仿真与分析 464.5远场衍射空间频谱分离 474.6准连续相位分布的衍射微光学结构 484.6.1光程差算法 494.6.2GS算法 524.6.3模拟退火算法 534.6.4时域有限差分法 554.6.5基于角谱理论的串行迭代算法 564.7衍射微光学结构的设计与仿真 614.8适用于毫米级近场的瑞利－索末菲积分模型 664.9毫米级近场衍射微光学结构的设计与仿真 684.10结语 75第五章基于衍射微光学结构的光学对抗 765.1衍射相位结构 765.2硅的湿法腐蚀 765.3测试与分析 835.4具有准连续相位分布的衍射微光学波前结构965.5适用于远场的衍射微光学相位结构 985.5.1单步电子束曝光 985.5.2测试与分析 1045.6适用于毫米级近场的衍射微光学结构 1115.6.1关键工艺流程 1115.6.2表面形貌特征 1145.6.3光学测试与评估 1235.7宽频激光对抗条件下的非相干成像探测 1275.8结语 129第六章适用于太赫兹图像发射的衍射器件 1316.1相位图及光刻版图 1316.2两步法腐蚀工艺 1366.3测试与分析 1396.4太赫兹器件设计 1456.4.1器件的湿法腐蚀 1486.4.2性能测试与评估1506.5结语 169第七章红外与太赫兹波前结构 1717.1湍流波前仿真 1717.2波前微结构 1807.3常规波前结构 1827.4测试与分析 1877.5结语 195第八章基于硅各向异性湿法腐蚀的连续轮廓折射微结构 1968.1硅各向异性湿法腐蚀特性 1968.2硅湿法腐蚀速率 1978.3微结构建模 2028.3.1均匀开孔模型 2028.3.2误差和表面粗糙度 2038.3.3非均匀开孔模型 2058.4软件系统的设计和实现 2078.4.1开发环境 2088.4.2系统设计 2098.5结语213第九章硅凹折射微透镜阵列 2149.1结构仿真与设计 2149.2湿法腐蚀 2189.3测试与评估 2229.4结语 228第十章复杂波前折射微结构 22910.1结构仿真与设计 22910.2工艺实现与测试评估 23010.3结语 234参考文献 235
内容摘要
本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。
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