光学光刻和极紫外光刻

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作者[美]安迪·爱德曼著，高伟民徐东波诸波尔译

出版社上海科技

ISBN9787547857205

出版时间2022-10

装帧其他

开本其他

定价195元

货号31572627

上书时间2024-06-09

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商品描述: 内容摘要
《光学光刻和极紫外光刻》是一本最新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

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