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作者魏同波,刘志强,李晋闽著
出版社西安电子科技大学出版社
ISBN9787560662886
出版时间2021-03
装帧精装
开本其他
定价128元
货号31653721
上书时间2024-06-01
本书以第三代半导体与二维材料相结合的产业化应用为目标,详细介绍了二维材料上准范德华外延氮化物的理论计算、材料生长、器件制备和应用,内容集学术性与实用性于一体。全书共8章,内容包括二维材料及准范德华外延原理及应用、二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算、二维材料/氮化物准范德华外延成键成核、单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延、非晶衬底上氮化物准范德华外延、准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移、准范德华外延氮化物器件散热以及Ⅲ族二维氮化物。
全书内容新颖,循序渐进,理论性和应用性强,可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。
第1章二维材料及准范德华外延原理及应用
1.1二维材料及其合成方法
1.1.1典型二维材料的组成及结构
1.1.2二维材料的特性及合成方法
1.2Ⅲ族氮化物异质外延生长及应用
1.2.1Ⅲ族氮化物异质外延生长
1.2.2Ⅲ族氮化物的应用前景
1.3二维材料上准范德华外延氮化物原理及应用
1.3.1二维材料上氮化物准范德华外延生长
1.3.2二维材料上准范德华外延技术应用
小结·
参考文献
第2章二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算
2.1二维材料上氮化物金属原子的吸附与迁移
2.1.1石墨烯上原子的吸附与迁移
2.1.2石墨烯上氮化物半导体金属原子的吸附与迁移
2.2二维材料上化合物界面原子构型
2.2.1二维材料上氮化物界面原子构型
2.2.2 二维材料上其他Ⅲ-V化合物界面原子构型
小结
参考文献
第3章二维材料/氮化物准范德华外延成键成核
3.1氮化物准范德华外延的成核机制
3.2二维材料表面形态对准范德华外延成核的影响
3.3二维材料层数对准范德华外延成核的影响
3.4氮化物准范德华外延成核界面处理方法
3.4.102等离子体处理
3.4.2N2等离子体处理
3.4.3 NHa的原位处理
小结
参考文献
第4章 单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.1二维材料/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.1.1石墨烯/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.1.2 h-BN/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.1.3二硫化物/平面蓝宝石衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.2二维材料/图形衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.3二维材料/SiC衬底上氮化物薄膜准范德华外延
4.3.1二维材料/SiC衬底上GaN薄膜准范德华外延
4.3.2二维材料/SiC衬底上AIN薄膜准范德华外延
小结
参考文献
第5章非晶衬底上氮化物准范德华外延
5.1 SiO2/Si衬底上氮化物准范德华外延
5.2非晶玻璃衬底上氮化物准范德华外延
小结
参考文献
第6章准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移
6.1氮化物柔性剥离和转移的技术路线
6.1.1激光辐射热释放剥离转移薄膜
6.1.2化学蚀刻法剥离转移薄膜
6.1.3准范德华外延氮化物的柔性剥离与转移
6.2柔性器件的优势与应用
6.2.1柔性探测器
6.2.2柔性LED器件
6.2.3柔性HEMT
小结
参考文献
第7章准范德华外延氮化物器件散热
7.1辅助氮化物导热的二维材料
7.1.1氧化石墨烯
7.1.2垂直石墨烯
7.1.3多层h-BN
7.2二维材料/氮化物器件散热
小结
参考文献
第8章 Ⅲ族二维氮化物
8.1二维GaN、AIN的理论研究
8.2二维GaN、AIN的制备
8.2.1二维GaN材料的制备
8.2.2二维AIN材料的制备
8.3二维GaN、AIN的应用
8.3.1制备紫外光源
8.3.2电池的电极材料
8.3.3气体传感器·
小结
参考文献
本书以第三代半导体与二维材料相结合的产业化应用为目标,详细介绍了二维材料上准范德华外延氮化物的理论计算、材料生长、器件制备和应用,内容集学术性与实用性于一体。全书共8章,内容包括二维材料及准范德华外延原理及应用、二维材料/氮化物准范德华外延界面理论计算、二维材料/氮化物准范德华外延成键成核、单晶衬底上氮化物薄膜准范德华外延、非晶衬底上氮化物准范德华外延、准范德华外延氮化物的柔性剥离及转移、准范德华外延氮化物器件散热以及Ⅲ族二维氮化物。
全书内容新颖,循序渐进,理论性和应用性强,可供从事第三代半导体材料以及半导体照明领域相关的研究生、科研人员与企业研发人员等阅读参考。
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