精密纳米计量学——用于纳米制造的传感器和测量系统

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作者(日)高伟

出版社国防工业出版社

ISBN9787118124668

出版时间2022-04

装帧平装

开本16开

定价98元

货号1202657451

上书时间2024-06-01

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商品描述: 目录
第1章测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器

1.1概述

1.2带有象限光电二极管的角度传感器

1.3带有光电二极管阵列的角度传感器

1.4带有单单元光电二极管的角度传感器

1.5小结

参考文献

第2章用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪

2.1概述

2.2双轴激光自准直仪

2.3单镜头激光微型自准直仪

2.4三轴激光自准直仪

2.5小结

参考文献

第3章用于测量面内运动的表面编码器

3.1概述

3.2用于MDOF面内运动的表面编码器

……

内容摘要
《精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统》由(日)高伟著

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